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公开(公告)号:CN104247575B
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201380021125.6
申请日:2013-04-15
Applicant: 应用材料公司
IPC: H05H1/46 , H01L21/3065 , H01L21/205
CPC classification number: H05B6/36 , F01N3/0275 , F01N2240/28 , H01J37/32834 , H01J37/32844 , H05H1/46 , H05H2001/4667 , H05H2245/1215 , Y02C20/30
Abstract: 在一些实施方式中,一种用于处理在基板处理系统的前级真空管线中的废气的设备,所述设备可包括介电管,所述介电管经配置以耦接至基板处理系统的前级真空管线,以允许废气从前级真空管线流动通过介电管;射频线圈,所述射频线圈围绕介电管的外表面卷绕,所述射频线圈具有第一端以提供射频输入至射频线圈,射频线圈的第一端靠近介电管的第一端,且射频线圈的第二端靠近介电管的第二端;分接头,所述分接头耦接至射频线圈以提供射频回程路径,所述分接头位于介电管的第一端与介电管的中央部分之间。
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公开(公告)号:CN103827453B
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201280047511.8
申请日:2012-09-06
Applicant: 依米泰克排放技术有限公司
IPC: F01N3/01
CPC classification number: F01N13/008 , F01N3/01 , F01N3/0275 , F01N2240/28
Abstract: 本发明涉及一种具有用于在排气管线(3)中制造电场的至少一个电极(2)的保持器(1)。该保持器(1)具有盘件(4)和紧固于盘件(4)上和/或盘件(4)中的至少一个电导体(8),该盘件(4)由电绝缘材料制成并且具有流入侧(5)和流出侧(6)以及开口(7),废气可通过该开口(7)从流入侧(5)向流出侧(6)流动。电导体(8)至少在盘件(4)的流入侧(5)上由电绝缘材料覆盖,并且与朝向流出侧(6)延伸的一个或多个电极(2)电接触。由于在运行期间电导体(8)完全由绝缘材料包围,使得为能够形成的漏电电流而必须由烟尘层覆盖的表面区域增加。因此,漏电长度增加,其中一个或多个电极(2)同时布置在废气中。不必经常地清除沉积在保持器(1)和排气管线(3)上的烟尘颗粒。
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公开(公告)号:CN104919151A
公开(公告)日:2015-09-16
申请号:CN201380069962.6
申请日:2013-01-30
Applicant: 富士电机株式会社
CPC classification number: F01N3/01 , B01D53/30 , B01D53/507 , B01D53/78 , B01D53/92 , B01D2252/1035 , B01D2257/302 , B01D2258/01 , B03C3/017 , B03C3/06 , B03C3/41 , B03C3/49 , B03C2201/10 , F01N3/0275 , F01N13/004
Abstract: 本发明提供能可靠地去除从船用柴油发动机排出的废气中包含的粒子状物质及硫氧化物的船用柴油发动机废气处理系统。其包括:对从船用柴油发动机排出的废气中的PM进行收集的电气集尘装置(7);对由该电气集尘装置去除PM后的废气进行海水的喷雾以去除SOx的海水洗涤器(9);检测所述电气集尘装置及所述海水洗涤器处理后的废气成分的废气成分检测部(LA3);回收由所述海水洗涤器进行喷雾后的海水并进行成分调整的海水成分调整部(9C);将由该海水成分调整部进行成分调整后的海水返回至所述海水洗涤器的海水循环部(9D);调整所述电气集尘装置及海水洗涤器的工作状态,使得由废气成分检测部检测出的废气的残留成分在规定范围内的废气处理控制部。
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公开(公告)号:CN102171422B
公开(公告)日:2013-12-25
申请号:CN200880131343.4
申请日:2008-09-30
Applicant: 珀金斯发动机有限公司
CPC classification number: F01N3/0275 , B01D46/0068 , B01D46/2411 , B01D46/2418 , B01D46/44 , B01D46/50 , B01D46/521 , B01D2273/24 , B01D2279/30 , F01N3/0233 , F01N3/0238 , F01N9/002 , Y02T10/47
Abstract: 本发明涉及一种用于再生适于从气体(40)中去除颗粒物质(120)的过滤器(30;300)的方法。所公开的方法包括至少产生至少一个电弧放电脉冲(130;135;140),所述至少一个电弧放电脉冲(130;135;140)适于产生至少一个压力波以使得颗粒物质(120)从过滤器(30;300)移除。此外,本发明涉及一种过滤器再生装置和柴油颗粒过滤器(30;300)。
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公开(公告)号:CN101418712B
公开(公告)日:2011-05-11
申请号:CN200810149771.1
申请日:2008-09-25
Applicant: 通用汽车环球科技运作公司
CPC classification number: F01N3/0253 , F01N3/0275 , F01N3/035 , F01N3/0835 , F01N2570/12 , F01N2610/03
Abstract: 本发明涉及使用碳氢化合物吸附剂的电加热颗粒过滤器再生。具体地,提供了一种用于处理发动机产生的排气的排气系统。该系统一般包括颗粒过滤器,其从排气中过滤出颗粒,其中,颗粒过滤器的上游端接收发动机排出的排气。电阻材料制成的格栅选择性地加热流经该上游端的排气从而引起颗粒过滤器内颗粒的燃烧。涂在颗粒过滤器上的碳氢化合物吸附剂涂层将碳氢化合物释放到排气中从而提高颗粒过滤器内颗粒的燃烧温度。
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公开(公告)号:CN100344860C
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200410011891.7
申请日:2004-09-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor: 辻公寿
CPC classification number: F01N3/0275 , B01D53/323 , B01D53/944 , B01D2259/818 , F01N2240/28
Abstract: 废气净化系统(1)包括一个蜂巢结构构件(20)和一个中心电极(40)。蜂巢结构构件(20)被布置在从发动机出来的废气排放流动通道里。中心电极(20)从蜂巢结构构件(20)上游侧沿着它的轴向延伸。与蜂巢结构构件(20)电极相反的电极的电压作用在中心电极(40)上。子电极(130a,130b)还被提供用于控制在中心电极(40)和蜂巢结构构件(20)之间的电场。
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公开(公告)号:CN1584301A
公开(公告)日:2005-02-23
申请号:CN200410057790.3
申请日:2004-08-19
Applicant: 丰田自动车株式会社
CPC classification number: F01N3/0275 , F01N9/002 , F01N2240/28
Abstract: 本发明关于一种排气净化装置,它包括;等离子辅助PM净化反应器;用于测定PM净化反应器中PM堆积量的检测装置;用于PM净化反应器的电源;以及用于根据检测装置信号来控制电源的控制装置。当检测装置测定的PM堆积量超过预定量时,该控制装置控制电源开始向PM净化反应器供电,或者向PM净化反应器增加供电量。
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公开(公告)号:CN1137757C
公开(公告)日:2004-02-11
申请号:CN98808952.1
申请日:1998-08-26
Applicant: 阿山特斯有限公司
CPC classification number: F01N3/035 , B01D53/32 , B01D53/9454 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0835 , B01J2219/0875 , B01J2219/0883 , B01J2219/0894 , F01N3/0224 , F01N3/0275 , F01N3/0807 , F01N3/0842 , F01N3/0892 , F01N3/2066 , F01N3/2086 , F01N3/2832 , F01N13/009 , F01N2240/28 , F01N2240/30 , F01N2330/08 , F01N2570/12 , F01N2570/14 , F01N2610/03 , F02B1/04 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2245/1215 , Y02T10/22 , Y02T10/24 , Y02T10/26
Abstract: 反应室(2)是内燃机尾气系统的一个组成部分。在反应室(2)内是电极(3和4),电极之间配有一个活性材料床(5),尾气通过该床排出。在放电的情况下,由于施加在电极(3和4)上的电压作用,活性材料(5)便会对尾气中氮氧化物的还原过程起催化作用,而且还可除去尾气中的烃。
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公开(公告)号:CN1269734A
公开(公告)日:2000-10-11
申请号:CN98808952.1
申请日:1998-08-26
Applicant: AEA技术公众有限公司
CPC classification number: F01N3/035 , B01D53/32 , B01D53/9454 , B01J19/088 , B01J2219/0809 , B01J2219/083 , B01J2219/0835 , B01J2219/0875 , B01J2219/0883 , B01J2219/0894 , F01N3/0224 , F01N3/0275 , F01N3/0807 , F01N3/0842 , F01N3/0892 , F01N3/2066 , F01N3/2086 , F01N3/2832 , F01N13/009 , F01N2240/28 , F01N2240/30 , F01N2330/08 , F01N2570/12 , F01N2570/14 , F01N2610/03 , F02B1/04 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2245/1215 , Y02T10/22 , Y02T10/24 , Y02T10/26
Abstract: 反应室(2)是内燃机尾气系统的一个组成部分。在反应室(2)内是电极(3和4),电极之间配有一个活性材料床(5),尾气通过该床排出。在放电的情况下,由于施加在电极(3和4)上的电压作用,活性材料(5)便会对尾气中氮氧化物的还原过程起催化作用,而且还可除去尾气中的烃。
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公开(公告)号:CN106762039A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201611191361.4
申请日:2016-12-21
Applicant: 李光武
Inventor: 李光武
CPC classification number: F01N3/035 , F01N3/0215 , F01N3/0275 , F01N13/00 , F01N13/008
Abstract: 一种催化转化装置,其包括外壳和至少两个过滤网框。外壳的一端具有进气口并且另一端具有出气口,过滤网框连接至外壳的内壁并且沿外壳的轴向方向间隔设置。过滤网框具有第一端和第二端,第一端连接至外壳的内壁,第二端与内壁间隔设置。相邻两个过滤网框的第一端的安装位置在外壳的周向方向错开。一种汽车排气系统,其包括上述催化转化装置。汽车尾气在经过过滤网框时,由于过滤网框的第二端和外壳内壁间隔设置,汽车尾气在经过催化转化装置和汽车排气系统时的流动阻力较小。
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