公开(公告)号：CN105338458A

公开(公告)日：2016-02-17

申请号：CN201410376030.2

申请日：2014-08-01

Applicant: 无锡华润上华半导体有限公司

Inventor： 胡永刚

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/0073 ,  H04R7/12 ,  H04R7/14 ,  H04R7/16 ,  H04R19/005 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种MEMS麦克风，由于上极板的中心区域或下极板的中心区域设有凹部，上极板的中心区域和下极板的中间区域的距离较远，构成可变电容结构的上极板(例如作为振膜)和下极板(例如作为背板)之间不容易粘连，有效降低出现振膜和背板粘连问题的几率，提高成品率。同时，由于可变电容的极板的中心区域不需要被挖掉，有效利用振膜机械灵敏度最高的区域，最大程度保持了MEMS麦克风的灵敏度。

公开(公告)号：CN1492569A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN03157482.3

申请日：2003-09-22

Applicant: 伊斯曼柯达公司

Inventor： M·W·科瓦日

IPC: H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0037 ,  G02B26/0808

Abstract: 一种位移连续可变的静电微机械装置，包括：具有第一电极的移动件；具有第二电极的相对表面；从该相对表面把移动件隔开的通道;在该通道内的液体，其中该液体具有足够大的介电常数，从而可对移动件在横跨至少通道一半的行程上的位移进行连续可变和稳定控制，该位移是在第一电极和第二电极之间施加电压的结果；以及在物理上位于第一电极和第二电极之间的至少一个固体电介质层。

公开(公告)号：CN106604887A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201480080900.X

申请日：2014-08-04

Applicant: 费斯·巴-提斯 ,  里哈德·本-马德

Inventor： 费斯·巴-提斯 ,  里哈德·本-马德

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B25J7/00 ,  B81B3/0037 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/053 ,  H02N1/002

Abstract: 公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成致动器的转子。该转子通过机械弹簧连接到定子。致动器的转子提供3‑DOF运动，包括垂直平移和围绕结构的轴线的双轴旋转。本活塞管致动器利用能够使用宽广区域电极的构造，并且因此提供使得转子能够平移的高输出力或者能够使转子旋转的高输出转矩。

公开(公告)号：CN1555339A

公开(公告)日：2004-12-15

申请号：CN02818130.1

申请日：2002-09-05

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 赤川圭一 ,  铃木纯儿 ,  石津谷徹 ,  铃木美彦

IPC: B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B6/358 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/053 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572 ,  G02B6/3584 ,  G02B2006/12104

Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。

公开(公告)号：CN108017036A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201710459683.0

申请日：2017-06-16

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： D·朱斯蒂 ,  S·康蒂

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: H04R17/02 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/012 ,  B81C1/00158 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0073 ,  H01L41/042 ,  H01L41/1132 ,  H01L41/1138 ,  H01L41/312 ,  H04R19/005 ,  H04R19/04 ,  H04R31/003 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种压电型MEMS传感器、具体地麦克风(50)，形成于采用半导体材料的容纳柔顺部分(54)的膜(52)中，该柔顺部分从该膜的第一表面(52a)延伸至第二表面(52b)。该柔顺部分(54)具有低于该膜(52)的其余部分的杨氏模量。具有半导体材料的敏感区域(57)在该柔顺部分(54)上方在该第一表面(52a)上延伸，并且在其端部在所述柔顺部分(54)的相反侧上固定至所述膜(52)上。所述膜的安排在所述柔顺部分(54)与所述第二表面(52b)之间的第三区域(55)形成铰链元件。

公开(公告)号：CN106276771A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610859918.0

申请日：2016-09-27

Applicant: 广西安捷讯电子科技有限公司

Inventor： 赵京

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0035 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/01 ,  B81B2201/04 ,  B81B2203/0118

Abstract: 本发明公开一种位移放大结构，包括第一横梁、第二横梁及运动挡板，第二横梁与第一横梁平行设置，第一横梁的前端与结构框架相固定，第二横梁的前端与运动制动器相连接，第一横梁的尾端与第二横梁的尾端相平齐，且第一横梁的尾端与第二横梁的尾端均与运动挡板相固定连接。本发明还公开了应用上述位移放大结构的微机电系统，通过设置新的位移放大结构，并将该位移放大结构与微机电系统相结合，运动制动器移动，并使第二横梁产生位移，从而在第一横梁与第二横梁之间的差分位移的作用下，致使运动挡板产生竖直方向的位移，将运动制动器的横向位移通过运动挡板在竖直方向进行放大，同时该位移放大结构，结构简单，加工方便，降低了生产成本。

公开(公告)号：CN105452809A

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201480031829.6

申请日：2014-06-17

Applicant: 株式会社村田制作所

Inventor： 冈见威 ,  辻信昭 ,  小野秀和

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5712 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0285 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/019 ,  G01C19/5747 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明的MEMS传感器用模块、特别是振动驱动模块包括：以可振动的方式被支承，并在振动方向上延伸的可动电极；与该可动电极大致平行地设置，并在所述振动方向上延伸的固定电极；在所述可动电极的与所述固定电极相对的相对壁面上沿所述振动方向排列设置的多个凸部；以及在所述固定电极的与所述可动电极相对的相对壁面上与所述可动电极的凸部相对的多个凸部。

公开(公告)号：CN101894711A

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN201010123457.3

申请日：2010-03-02

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 川端康大 ,  山地佑辅 ,  田中博之 ,  芹川知己 ,  篠浦达生

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H1/0036 ,  B81B3/0037 ,  G02B26/0841 ,  H01H51/2209 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0054

Abstract: 本发明提供一种弹簧结构，能够缩短成对的作用点彼此之间的距离，能够增大作用点的驱动力，且能通过一个部件制作。动作部件(63)通过第一支承轴(65)转动自如地支承中央附近。在动作部件(63)的左右两侧，隔着支承轴(65)在两侧分别配置有连动部件(64a、64b)。连动部件(64a、64b)通过第二支承轴(69)转动自如地被支承，另外，与动作部件(63)转动自如地连结。支承轴(69)比动作部件(63)与动作部件(64a、64b)的连结部位更接近于支承轴(65)，且在比支承轴(69)更接近支承轴(65)的部位确定作用点部分(70)。

公开(公告)号：CN105338458B

公开(公告)日：2019-06-07

申请号：CN201410376030.2

申请日：2014-08-01

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 胡永刚

IPC: H04R19/04

CPC classification number: H04R19/04 ,  B81B3/0037 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  G01L9/0045 ,  G01L9/0073 ,  H04R7/12 ,  H04R7/14 ,  H04R7/16 ,  H04R19/005 ,  H04R2201/003

Abstract: 一种MEMS麦克风，由于上极板的中心区域或下极板的中心区域设有凹部，上极板的中心区域和下极板的中间区域的距离较远，构成可变电容结构的上极板(例如作为振膜)和下极板(例如作为背板)之间不容易粘连，有效降低出现振膜和背板粘连问题的几率，提高成品率。同时，由于可变电容的极板的中心区域不需要被挖掉，有效利用振膜机械灵敏度最高的区域，最大程度保持了MEMS麦克风的灵敏度。

公开(公告)号：CN104276540B

公开(公告)日：2018-01-09

申请号：CN201410315253.8

申请日：2014-07-03

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： A·克尔布尔 ,  J·赖因穆特 ,  J·克拉森

IPC: B81C1/00 ,  B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0037 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0257 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/095 ,  B81C1/00682 ,  G01L9/0072 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种微机械部件，具有：基片(10)，其具有空穴(12)，所述空穴向内构造在所述基片的功能性上侧(10a)中；至少部分导电的薄膜(24)，其至少部分地张紧所述空穴；以及对应电极(42)，其间隔开地布置在所述薄膜的从基片远离地指向的外侧上，以使在对应电极和至少部分导电的薄膜之间存在自由空间(52)；所述至少部分导电的薄膜张紧在至少一个至少部分地覆盖所述基片的功能性上侧的电绝缘材料上或其上方；和至少一个压力入口(56)构造在空穴上，以使所述至少部分导电的薄膜利用从所述微机械部件的外部环境流入到所述空穴中的气体介质可向内弯曲到所述自由空间中。本发明还涉及一种微机械部件的制造方法。