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公开(公告)号：CN1268537C
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100376918C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN1703369A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200380101228.X
申请日：2003-10-08
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3516 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0858 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。
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公开(公告)号：CN100400411C
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200380101228.X
申请日：2003-10-08
CPC classification number: G02B6/358 , G02B6/3516 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B26/0858 , H02K33/18 , H02K41/0354
Abstract: 可动板(21)通过弹性部(27a、27b)被固定在基板(11)上，并且可以相对于基板(11)上下移动。基板(11)兼用作固定电极。可动板(21)具有：可以通过和基板(11)之间的电压而与基板(11)之间产生静电力的第二电极部(23a、23b)；以及被配置在磁场内通过通电产生洛伦兹力的电流路径(25)。进入及退出光路的反射镜(12)被设置在可动板(21)上。控制部，将可动板(21)从静电力增大的下侧位置向上侧位置移动时，对上述电流进行控制，以使在可动板(21)从中间位置向上侧位置移动的期间，向下生成上述洛伦兹力，且其逐渐减小。这样一来，不会产生高电压、不会对小型化产生破坏，可以扩大可动部的可动范围，且降低电力消耗，并且可以提高长期运转时的可靠性。
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公开(公告)号：CN1608223A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN02826035.X
申请日：2002-12-12
CPC classification number: G02B6/3596 , G02B6/3512 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3582 , G02B6/3584 , H04Q11/0005 , H04Q2011/003 , H04Q2011/0039 , H04Q2011/0058
Abstract: 光导衬底2具有反射镜接收凹槽24和光导。光导根据反射镜31相对于凹槽24的前进和后退把进入到输入口中的光束导向到选定的输出口。致动器衬底4具有反射镜31和致动器，该致动器将反射镜31置于朝向衬底4拉入反射镜的状态或反射镜从衬底4伸出的状态。光导衬底2和致动器衬底4利用校准标记对齐并以间隔件3夹置其间地结合，使得当朝向衬底4拉入反射镜31时反射镜31从凹槽24中退出，并当反射镜31从衬底4伸出时反射镜31前进到凹槽24中。这种对齐在朝向衬底4拉入所有反射镜31的状态下进行。
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公开(公告)号：CN1555339A
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02818130.1
申请日：2002-09-05
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/358 , B81B3/0037 , B81B2201/045 , B81B2203/0109 , B81B2203/053 , G02B6/3514 , G02B6/3546 , G02B6/357 , G02B6/3572 , G02B6/3584 , G02B2006/12104
Abstract: 活动部分(21)通过挠性部分(27a和27b)固定到基底(11)，并且可以相对于基底(11)上下移动。基底(11)还用作固定电极。活动部分(21)具有第二电极部分(23a和23b)，这些电极通过施加在其与基底(11)上的电压在其与基底(11)之间产生静电力，还具有一条设置在磁场中的电流路径(25)，当电流流经此电流路径时产生罗伦兹力。在活动部分(21)上设置从光路向前和向后移动的反射镜(12)。结果，可以扩大活动部分的活动范围，并且可以无需施加高压以及牺牲小尺寸就可以降低功耗。
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