公开(公告)号：CN104205350B

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201280071317.3

申请日：2012-03-12

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 唐木田升市

IPC: H01L31/0236 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/18 ,  B23K26/0661 ,  B23K26/18 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/38 ,  B23K2101/40 ,  B23K2103/50 ,  H01L31/02363 ,  Y02E10/50

Abstract: 具有：在受光面侧电极形成前的任意时间点，在半导体基板的一面侧的表面形成具有倒金字塔形状的凹部的凹凸构造，并且包括保护膜形成工序，在半导体的一面侧形成保护膜；第1加工工序，利用加工处理效率相对高的方法，在保护膜形成接近所希望的开口形状、比作为目标的开口尺寸小的多个第1开口部；第2加工工序，利用加工处理精度相对高的方法，扩大第1开口部到作为目标的开口尺寸为止，在保护膜形成第2开口部；以及蚀刻工序，经由第2开口部，进行第2开口部的下部区域的半导体基板的各向异性湿法蚀刻，从而在半导体基板的一面侧形成倒金字塔形状的构造。

公开(公告)号：CN104308372A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201410465058.3

申请日：2011-05-04

Applicant: 西门子公司

Inventor： A.马萨 ,  A.奥珀特

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/386

CPC classification number: B23K26/386 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  B23K2101/001

Abstract: 不形成毛刺的激光钻孔。在通过冲击法产生孔的过程中经常形成毛刺。通过在第一步骤中使用冲击法以及在第二步骤中使用旋切打孔法避免形成毛刺，其中，所要制造的孔（10）的直径逐步地扩大。

公开(公告)号：CN106001945A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610319655.4

申请日：2012-12-07

Applicant: 通用原子公司

Inventor： A·C·福斯曼 ,  B·L·约翰逊 ,  E·H·隆格伦 ,  T·C·伯奇 ,  C·P·莫伊勒 ,  J·A·卡米歇尔

IPC: B23K26/388 ,  B23K26/382

CPC classification number: B23K26/18 ,  B23K26/389 ,  B23K26/388

Abstract: 公开了用于激光制造加工的方法和系统。本实施例提供在激光制造加工期间保护一表面的方法、系统和装置。在一些实施例中，在激光制造加工期间保护一表面的方法包括：将流体938引导至正进行激光制造加工的物体320的腔318中，其中该流体不具有激光吸收性质；并且将多个激光脉冲324引导至该正进行激光制造加工的物体的壁332，其中该激光脉冲被配置为形成穿透壁326的孔330，以使至少一个激光脉冲在该流体被引导进该腔时穿过该孔并进入该腔，以使该激光脉冲同时入射到该流体和表面612上，以抑制后壁损伤。

公开(公告)号：CN103619527B

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201280022484.9

申请日：2012-05-09

Applicant: 株式会社V技术

Inventor： 梶山康一 ,  畑中诚

IPC: B23K26/38 ,  B23K26/064 ,  C03B33/09 ,  G02B3/06

CPC classification number: G02B3/06 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/0665 ,  B23K26/0734 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  C03B33/04 ,  C03B33/093 ,  G02B27/0927 ,  G02B27/0966 ,  G02B2003/0093

Abstract: 本发明的透镜及搭载有该透镜的激光加工装置用于对被切割材料切割由闭合曲线构成的任意形状的部件，并且以使连结凸型圆柱透镜的圆柱面的顶点的线为与由上述闭合曲线构成的任意形状相同的形状的方式，闭合形成凸型圆柱透镜而成形。

公开(公告)号：CN103831539B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201410058041.6

申请日：2014-02-20

Applicant: 合肥鑫晟光电科技有限公司 ,  京东方科技集团股份有限公司

Inventor： 董岱 ,  公伟刚 ,  黄阳 ,  陶胜

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/03 ,  B23K26/16 ,  B23K26/14 ,  B23K26/70

CPC classification number: C03B33/091 ,  B23K26/032 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/142 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  B23K26/40 ,  B23K26/402 ,  B23K26/703 ,  B23K2103/00 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/54 ,  C03B33/0222 ,  C03B33/04

Abstract: 本发明提供一种激光打孔方法及激光打孔系统，该激光打孔方法包括：孔边界形成步骤：输出脉冲激光光束，在待打孔基板上进行扫描，形成预成型孔的边界切割槽；孔内材料加热步骤：输出CO2激光光束，使CO2激光光束与预成型孔相对准，对预成型孔的基板材料进行预定时间的加热；孔成型步骤：对预成型孔的基板材料进行冷却，使基板材料发生变形而能够从待打孔基板上脱落。本发明所述方法及系统，能够解决现有技术的激光打孔方式无法适应于超高化学强度的基板，以及孔加工表面品质差的问题。

公开(公告)号：CN104131900A

公开(公告)日：2014-11-05

申请号：CN201410181607.4

申请日：2014-04-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： J.H.斯塔克维瑟 ,  W.班尼特 ,  J.吉邦斯 ,  A.乌尔班斯基

IPC: F02C7/12

CPC classification number: F23R3/02 ,  B23K20/12 ,  B23K20/129 ,  B23K20/227 ,  B23K26/384 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  B23K2101/003 ,  B23K2101/006 ,  B23K2103/04 ,  F01D5/186 ,  F05D2260/202 ,  F23R3/002 ,  F23R3/06 ,  F23R2900/00018 ,  F23R2900/03041 ,  Y02T50/673 ,  Y02T50/676

Abstract: 本发明公开一种带有成形冷却孔的衬底及制造方法。一种衬底，所述衬底具有形成在其中的一个或多个成形发散冷却孔。每个成形冷却孔均具有相对于燃烧器衬套的出口表面成角度的钻孔。所述钻孔的一端是形成在所述燃烧器衬套的入口表面中的入口。所述钻孔的另一端是形成在所述燃烧器衬套的所述出口表面中的出口。所述出口具有仅在一个维度上扩展的成形部分。本发明还公开了形成成形冷却孔的方法。

公开(公告)号：CN107803602A

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610878679.3

申请日：2016-10-09

Applicant: 财团法人工业技术研究院

Inventor： 陈峻明 ,  李闵凯 ,  任春平

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/142

CPC classification number: B23K26/16 ,  B23K26/388 ,  B23K37/08 ,  B23K26/382 ,  B23K26/142

Abstract: 本发明公开一种激光加工装置及激光加工排屑装置，该激光加工装置包含一激光产生元件、一光学绕孔元件、一气源及一激光加工排屑装置。激光产生元件用以产生一激光光束并穿过光学通道。光学绕孔元件位于激光光束的光路上，并令激光光束沿一环形加工路径移动。激光加工排屑装置利用喷嘴的内部流道设计，提高喷出的流速，使得吸附区域压力变小。气源用以提供一气流，并装设于激光加工排屑装置上，与喷嘴的内部流道相连通。本激光加工排屑装置针对激光加工扫描区域产生吸力，并辅助激光切割/钻孔制作工艺，达到大面积碎屑排除动作，提升产速与孔洞品质。

公开(公告)号：CN105121088B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201480014010.9

申请日：2014-03-14

Applicant: 伊雷克托科学工业股份有限公司

Inventor： 马克·A·昂瑞斯

IPC: G02F1/33 ,  B23K26/00 ,  B23K26/36 ,  B23K26/04

CPC classification number: B23K26/032 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/082 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/38 ,  B23K26/386 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

Abstract: 本发明揭示在每一个压型动作前和后插入一安装时间的激光系统和方法。一高峰声光偏转器偏差大体上发生在特征间移动和压型移动之间的速度转换处。本转换发生于压型前(在趋近该压型位置的时候)和压型后(在自该已完成压型位置离开至下一位置的时候)两者。通过在每一个压型周期结尾添加一安装延迟，该声光偏转器偏差被允许设定成一较低值。这个接着允许较高压型间速度(提供高生产能力)而仍将该声光偏转器行进偏差保持在该系统的声光偏转器架构界限内。

公开(公告)号：CN104010760B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201280063590.1

申请日：2012-12-19

Applicant: 电子科学工业有限公司

Inventor： M·夏恩·诺维尔 ,  托德·C·希寇伊

IPC: B23K26/388 ,  B23K26/402

CPC classification number: B23K26/402 ,  B23K26/388 ,  B23K26/389 ,  B23K2103/42 ,  B23K2103/50

Abstract: 使用激光加工系统在优选为硅酮橡胶的弹性材料中进行精确激光钻孔以形成用以在正处理或测试小型电子组件时暂时支撑所述小型电子组件的孔。通过在从非零内径行进到所要直径或从所述所要直径行进到所述内径的方向上以多个遍次将激光脉冲从激光器引导到所述弹性材料的顶部表面来形成所述孔。所述多个遍次形成第一图案以使得所述多个遍次中的相继遍次与所述多个遍次中的先前遍次重叠。在不进行方向改变的情况下重复所述第一图案或在反转所述多个遍次的所述方向的同时重复所述第一图案，直到穿过所述弹性材料的底部表面形成所述孔为止。

公开(公告)号：CN105904103A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610092676.7

申请日：2016-02-19

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 胡兆力 ,  A.D.达林 ,  S.E.麦克道尔 ,  D.A.塞里诺 ,  J.M.罗马斯

IPC: B23K26/382 ,  B23K26/70

CPC classification number: B23K26/388 ,  B23K26/032 ,  B23K26/04 ,  B23K26/146 ,  B23K26/389 ,  B23K2101/001 ,  B23P6/002 ,  B23P2700/06 ,  F01D5/005 ,  F01D5/186 ,  F01D5/288 ,  F05D2230/13 ,  F05D2230/80 ,  F05D2230/90 ,  Y02T50/673 ,  Y02T50/676

Abstract: 本发明提供了一种用于修理构件的近壁中的一个或更多个孔的方法。该方法包括确定构件的近壁中的第一孔的更新的孔信息，其包括更新的位置。该方法还包括将受约束式激光钻机的受约束式激光射束向构件的近壁引导到第一孔的更新的位置处，以钻穿构件的在第一孔上延伸和/或定位在第一孔中的涂层。该方法还包括感测从第一孔的更新的位置反射的光的特性，并基于所感测的光的特性而确定受约束式激光钻机的受约束式激光射束已经钻穿构件的在第一孔上延伸和/或定位在第一孔中的涂层的一部分。