处理氮化/氮碳共渗工件的方法

    公开(公告)号:CN106687245B

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201580039258.5

    申请日:2015-07-16

    Applicant: H.E.F.公司

    Abstract: 本发明公开了一种方法,所述方法包括:使所述工件的至少一部分经受第一步骤,其中至少一束激光束在所述部分上方的至少一条通路中移动,直到所考虑的所述部分的所述表面层被部分或全部转化,并且直到所述扩散区域中氮浓度的分布发生改变为止。所述方法还包括:使至少被激光处理并转化过所述表面层的所述部分经受第二步骤,其中使至少一束激光束在所述部分上方的至少一条通路中移动,从而使得下方所述扩散层中的所述氮浓度降低。

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