利用磁铁单元的溅射装置及其方法

    公开(公告)号:CN103789736A

    公开(公告)日:2014-05-14

    申请号:CN201310452254.2

    申请日:2013-09-26

    Inventor: 金明浩 郑铭峻

    CPC classification number: C23C14/35 H01J37/3405 H01J37/3435 H01J37/3455

    Abstract: 本发明公开一种能够降低被镀膜物的镀膜厚度偏差的溅射装置及其方法。该溅射装置包括:腔体;以及靶模块,其位于所述腔体内,并且具有靶源及产生磁场的至少一个磁铁单元;其中,所述磁铁单元在溅射工序期间摆动。根据本发明的溅射装置及其方法,通过使靶源旋转(rotating),并使磁铁单元摆动(swing),能够延长靶源的寿命,并且能够降低被镀膜物的镀膜厚度偏差。

    RF滤波器的谐振器的制造方法及具备该谐振器的RF滤波器

    公开(公告)号:CN102077411A

    公开(公告)日:2011-05-25

    申请号:CN200980124617.1

    申请日:2009-06-18

    Inventor: 郑铭峻 郑贤泳

    CPC classification number: H01P1/2053 H01P11/008

    Abstract: 公开一种RF滤波器的谐振器的制造方法及具备该谐振器的RF滤波器。所公开的方法包括:准备能够从商业途径得到的管的步骤(a);按预定的长度切断所述管的步骤(b);以及将按所述预定的长度切断的管用作谐振器而结合到RF滤波器的下端的步骤(c)。根据所公开的方法,具有可节省RF空腔滤波器的谐振器的制造成本,且不会造成原材料的浪费、能够节省制造时间的优点。

    RF装置的镀覆方法以及用该方法制造的RF装置

    公开(公告)号:CN101960055B

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN200980107011.7

    申请日:2009-02-27

    Inventor: 郑贤泳 郑铭峻

    CPC classification number: C25D5/10 C25D3/38 C25D5/44 C25D7/00

    Abstract: 公开有RF装置的镀覆方法。所公开的方法包括步骤:(a),对于采用待镀覆基材的RF装置进行前处理;(b),对于所述RF装置进行镀铜而形成镀铜层;(c),在所述镀铜层上形成采用贵金属的贵金属薄膜层,其中,所述贵金属薄膜层的厚度相比工作频带的趋肤深度(Skin Depth)更薄。根据所公开的方法,具有能够以低廉的费用实现镀覆处理的同时,具有良好的外观质量的优点。

    RF装置的镀覆方法以及用该方法制造的RF装置

    公开(公告)号:CN101960055A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980107011.7

    申请日:2009-02-27

    Inventor: 郑贤泳 郑铭峻

    CPC classification number: C25D5/10 C25D3/38 C25D5/44 C25D7/00

    Abstract: 公开有RF装置的镀覆方法。所公开的方法包括步骤:(a),对于采用待镀覆基材的RF装置进行前处理;(b),对于所述RF装置进行镀铜而形成镀铜层;(c),在所述镀铜层上形成采用贵金属的贵金属薄膜层,其中,所述贵金属薄膜层的厚度相比工作频带的趋肤深度(Skin Depth)更薄。根据所公开的方法,具有能够以低廉的费用实现镀覆处理的同时,具有良好的外观质量的优点。

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