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公开(公告)号:CN119124448A
公开(公告)日:2024-12-13
申请号:CN202411271920.7
申请日:2024-09-11
Applicant: 麦克传感器股份有限公司
IPC: G01L19/00
Abstract: 本发明公开了一种提高绝压型压力传感器稳定性的方法及绝压型压力传感器,方法包括将绝压芯片放置在烧结基座的方型槽中,对绝压芯片进行定位;在烧结基座的四周点胶,将陶瓷绝缘罩粘接在烧结基座的内腔中;利用金丝将绝压芯片上的电路与烧结基座上的引脚连接,并使压环、波纹膜片和烧结基座焊接固定;采用硅油将波纹膜片和烧结基座之间的腔体填充,并使用钢珠对腔体密封。该方法在提高绝压型压力传感器稳定性的过程中,通过在烧结基座上开设方型槽,将绝压芯片放置在烧结基座的方型槽中,一方面能够有效的对绝压芯片进行定位,消除了由于胶黏剂和烧结基座以及芯片之间的材料性能不匹配导致的热失配进而产生的内应力,提高绝压芯片传感器的稳定性。
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