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公开(公告)号：CN101542015B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200780040766.0
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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公开(公告)号：CN103305804A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310190193.7
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明涉及利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送。具体地，本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101542015A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780040766.0
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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公开(公告)号：CN101555987A
公开(公告)日：2009-10-14
申请号：CN200910126952.7
申请日：2003-11-25
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 丹尼斯·布热什托万斯基 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 乔斯·I·阿尔诺 , J·唐纳德·卡拉瑟斯 , 菲利普·A·莫罗科
CPC classification number: B01D53/053 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2253/342 , B01D2257/40 , B01D2257/704 , B01D2257/706 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C13/084 , F17C2201/0157 , F17C2205/0103 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0318
Abstract: 一种流体贮存和分发装置包括一种具有长方体形状的流体贮存和分发容器，另外，一种集成气箱组件包括这种流体贮存和分发装置以及/或者在排气箱内的使用点通风气体洗涤器。例如在气箱提供的生产气体是一种有毒或具有危险特性的气体的情况下，通过使用物理吸附剂和化学吸附介质，可以提高该气箱的运作安全性。
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公开(公告)号：CN100482318C
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200380109609.2
申请日：2003-11-25
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 丹尼斯·布热什托万斯基 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 乔斯·I·阿尔诺 , J·唐纳德·卡拉瑟斯 , 菲利普·A·莫罗科
IPC: B01D53/02
CPC classification number: B01D53/053 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2253/342 , B01D2257/40 , B01D2257/704 , B01D2257/706 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C13/084 , F17C2201/0157 , F17C2205/0103 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0318
Abstract: 一种流体贮存和分发装置包括一种具有长方体形状的流体贮存和分发容器，另外，一种集成气箱组件包括这种流体贮存和分发装置以及/或者在排气箱内的使用点通风气体洗涤器。例如在气箱提供的生产气体是一种有毒或具有危险特性的气体的情况下，通过使用物理吸附剂和化学吸附介质，可以提高该气箱的运作安全性。
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公开(公告)号：CN101555987B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910126952.7
申请日：2003-11-25
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 丹尼斯·布热什托万斯基 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 乔斯·I·阿尔诺 , J·唐纳德·卡拉瑟斯 , 菲利普·A·莫罗科
CPC classification number: B01D53/053 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2253/342 , B01D2257/40 , B01D2257/704 , B01D2257/706 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C13/084 , F17C2201/0157 , F17C2205/0103 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0318
Abstract: 一种流体贮存和分发装置包括一种具有长方体形状的流体贮存和分发容器，另外，一种集成气箱组件包括这种流体贮存和分发装置以及/或者在排气箱内的使用点通风气体洗涤器。例如在气箱提供的生产气体是一种有毒或具有危险特性的气体的情况下，通过使用物理吸附剂和化学吸附介质，可以提高该气箱的运作安全性。
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公开(公告)号：CN1753719A
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200380109609.2
申请日：2003-11-25
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 丹尼斯·布热什托万斯基 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 乔斯·I·阿尔诺 , J·唐纳德·卡拉瑟斯 , 菲利普·A·莫罗科
IPC: B01D53/02
CPC classification number: B01D53/053 , B01D53/0407 , B01D2253/102 , B01D2253/304 , B01D2253/342 , B01D2257/40 , B01D2257/704 , B01D2257/706 , B01D2257/93 , B01D2258/0216 , B01D2259/4525 , F17C11/00 , F17C13/084 , F17C2201/0157 , F17C2205/0103 , F17C2205/0338 , F17C2205/0391 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0318
Abstract: 一种流体贮存和分发装置包括一种具有长方体形状的流体贮存和分发容器，另外，一种集成气箱组件包括这种流体贮存和分发装置以及/或者在排气箱内的使用点通风气体洗涤器。例如在气箱提供的生产气体是一种有毒或具有危险特性的气体的情况下，通过使用物理吸附剂和化学吸附介质，可以提高该气箱的运作安全性。
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