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公开(公告)号：CN101542015B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200780040766.0
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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公开(公告)号：CN104487608A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201380038921.0
申请日：2013-05-31
Applicant: 高级技术材料公司
IPC: C23C16/44 , C23C16/458
CPC classification number: C23C16/458 , B01B1/005 , C23C16/4402 , C23C16/4481 , C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种系统、试剂支持盘、颗粒抑制装置和方法。一方面，系统包括具有包围内部空间的一个或多个内壁的汽化器容器和构造为在内部空间内垂直堆叠的多个试剂支持盘。将多个试剂支持盘中的每个构造为在内部空间内可垂直堆叠以形成试剂支持盘叠层。将多个试剂支持盘中的一个或多个构造为重新定向通过试剂支持盘叠层中的相邻的试剂支持盘之间的气流，以使气流在进入试剂支持盘叠层中的多个试剂支持盘的下一个之前与特定试剂支持盘中的源试剂物质相互作用。
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公开(公告)号：CN103305804A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310190193.7
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明涉及利用受控的固体形态学的流体的基于固体前体的传送。具体地，本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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公开(公告)号：CN101542015A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200780040766.0
申请日：2007-08-31
Applicant: 高级技术材料公司
Inventor： 约翰·M·克利里 , 乔斯·I·阿尔诺 , 布赖恩·C·亨德里克斯 , 多恩·纳伊托 , 斯科特·巴特勒 , 约翰·格雷格 , 迈克尔·J·伍德延斯基 , 许从应
IPC: C23C16/00
CPC classification number: C23C16/4481 , C23C14/48 , C23C16/08 , C23C16/16 , C23C16/18 , C23C16/30 , C23C16/4402 , C23C16/45525 , C23C16/45544
Abstract: 本发明揭一种用于挥发来源试剂的装置及方法，该来源试剂易于在对应的来源试剂蒸气中产生颗粒或存有颗粒，其中此颗粒产生或存在可藉由蒸气产生系统的结构或处理特性元件而压抑。此装置及方法可用于液体及固体来源试剂，特别是固体来源试剂，如金属卤化物，如氯化铪。在一特定实施例中，此来源试剂系以该来源试剂材料之一多孔性单块型整体形式构成。本发明之装置及方法用于提供来源试剂蒸气于如原子层沉积(ALD)及离子植入的应用中。
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