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公开(公告)号:CN1127087C
公开(公告)日:2003-11-05
申请号:CN99105560.8
申请日:1999-04-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: G03F9/00 , G11B5/3103 , G11B5/313 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3903 , G11B5/488
Abstract: 在面积很大的透光部(5A)内设置校准键(6)。通过这种方法,为了对准位置,即使将曝光用掩模(4)上下、左右移动,滑块条(1)的薄膜元件(3)均能恰当地进入上述透光部(5A)内,可以容易地将曝光用掩模(4)的透光部(5A)与滑块条(1)的薄膜元件(3)的位置对准。
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公开(公告)号:CN1340808A
公开(公告)日:2002-03-20
申请号:CN01130674.2
申请日:2001-08-17
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Inventor: 岩崎纯
CPC classification number: G11B5/6005 , G11B21/21
Abstract: 穿过滑动块的倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面C与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ1,以及穿过倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面D与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ2在5°~14°的范围内。
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公开(公告)号:CN1235351A
公开(公告)日:1999-11-17
申请号:CN99105560.8
申请日:1999-04-12
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
CPC classification number: G03F9/00 , G11B5/3103 , G11B5/313 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3903 , G11B5/488
Abstract: 在面积很大的透光部5A内设置校准键(标记)6。通过这种方法,为了对准位置,即使将曝光用掩模4上下、左右移动,滑块条1的薄膜元件3均能恰当地进入上述透光部5A内,可以容易地将曝光用掩模4的透光部5A与滑块条1的薄膜元件3的位置对准。
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公开(公告)号:CN1179326C
公开(公告)日:2004-12-08
申请号:CN01130674.2
申请日:2001-08-17
Applicant: 阿尔卑斯电气株式会社
Inventor: 岩崎纯
CPC classification number: G11B5/6005 , G11B21/21
Abstract: 穿过滑动块的倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面C与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ1,以及穿过倾斜面的第1边界线和第2边界线的假想平面D与滑动块的支承面S之间的夹角的值θ2在5°~14°的范围内。
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