一种大功率低垂直发散角InGaAs/GaAs多量子阱半导体激光器结构

    公开(公告)号:CN104332826A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410674455.1

    申请日:2014-11-20

    Abstract: 一种大功率低垂直发散角多量子阱半导体激光器结构,其特征在于,包括:一衬底,在该层结构上进行激光器各层材料外延生长;一缓冲层,该缓冲层生长在衬底上,为N型砷化镓材料;一N型下限制层,该N型下限制层制作在缓冲层上;一下N型下波导层,该N型下波导层生长在下限制层上;一多量子阱层,该多量子阱层生长在下波导层上;一P型上波导层,该P型上波导层生长在多量子阱层上;一P型上限制层,该P型上限制层生长在P型上波导层上;一P型高掺杂层,该P型高掺杂层生长在P型上限制层上,形成大功率低垂直发散角多量子阱半导体激光器半导体激光器结构。

    一种低线宽的F-P腔应变量子阱激光器

    公开(公告)号:CN102332681B

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201110217210.2

    申请日:2011-08-01

    Abstract: 本发明提供一种低线宽的F-P腔应变量子阱激光器。所述的包括顺次连接的衬底(1)、缓冲层(2)、n型下限制层(3)、下波导层(4)、下势垒层(5)、有源层(6)、上势垒层(7)、上波导层(8)、p型上限制层(9)和欧姆接触层(10);通过优化设计有源层6,使量子阱带间跃迁产生的线宽展宽因子与自由载流子吸收和带隙收缩产生的线宽展宽因子相互抵消,实现了低线宽,改善了量子阱激光器光束的质量。本发明的激光器的有源层为InxGa1-xAs材料,x=0.33,阱宽厚度为3~5nm,中心波长λ=980nm~1036nm,线宽较量子阱激光器线宽降低了3个数量级。可以用于光学测量、固体激光器泵浦、激光光谱学研究等领域。

    一种提高半导体激光器寿命方法

    公开(公告)号:CN102882120A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:CN201210380873.0

    申请日:2012-10-10

    Abstract: 本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种提高半导体激光器寿命方法,即“等离子体技术-钝化技术-离子辅助和光学膜技术”一体化技术,包括:半导体激光器bar条1,经等离子体技术处理的半导体激光器bar条2,钝化膜3,前腔面膜4,后腔面膜5。将解理好的半导体激光器bar条1整齐的堆叠在专用的bar条夹具上,放入真空镀膜机里,抽取真空。当达到预定真空度时,先采用等离子体技术,进行腔面清洗,清除腔面氧化物和不稳定表面态形成经等离子技术处理的半导体激光器bar条2;再采用钝化技术,在腔面上沉积一层钝化膜3,抑制腔面再被氧化;最后采用离子辅助技术和光学膜技术,制备高激光损伤阈值前腔面膜4和后腔面膜5,提高半导体激光器腔面损伤阈值。本发明能有效地提高半导体激光器的寿命。

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