公开(公告)号：CN118969824A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202411099134.3

申请日：2024-08-12

Applicant: 重庆邮电大学

Inventor： 黄义 ,  严宏宇 ,  高升 ,  吴艳君 ,  张琳 ,  袁建成

IPC: H01L29/45 ,  H01L29/47 ,  H01L29/423 ,  H01L29/778

Abstract: 本发明涉及一种抑制阈值电压漂移的p‑GaN HEMT器件，属于半导体技术领域。本发明器件栅极采用肖特基/欧姆混合接触，对位于势垒层上方的p‑GaN层进行凹槽刻蚀，刻蚀出两个凹槽，凹槽使用氮化物进行填充，使得p‑GaN层整体形状为“ш”形，从而分离出三个栅极。其中两边的靠近源漏的栅极采用肖特基接触，形成肖特基势垒，中间的栅极采用欧姆接触，形成高阻区。当器件承受漏极高压偏置应力时，p‑GaN层会产生电荷积累现象，积累的电荷可以通过中间的欧姆栅极高阻区释放出去，减轻电荷积累效应，达到抑制阈值电压漂移的目的，而因为两边栅极肖特基势垒的存在可以在保证抑制阈值电压漂移的同时，保证整体栅控能力。