一种具有分裂耦合栅结构的p-GaN HEMT器件

    公开(公告)号:CN119300398A

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202411437327.5

    申请日:2024-10-15

    Abstract: 本发明涉及一种具有分裂耦合栅结构的p‑GaN HEMT器件,属于半导体器件技术领域。该器件包括:衬底;形成于衬底表面的缓冲层;形成于缓冲层表面的沟道层;形成于沟道层表面的势垒层;形成于势垒层表面的源极电极和漏极电极;形成于势垒层表面且位于源极电极和漏极电极之间的第一p‑GaN层;形成于势垒层表面且位于第一p‑GaN层和漏极电极之间的第二p‑GaN层;形成于第一p‑GaN层表面的第一栅极;形成于第二p‑GaN层表面的第二栅极;形成于势垒层且位于源极电极、漏极电极、第一p‑GaN层和第二p‑GaN层之间的钝化层;形成于第一栅极和第二栅极表面的栅极电极。本发明可降低电荷积累效应,减轻阈值电压的漂移。

    具有复合电流阻挡层的增强型超结CAVET器件

    公开(公告)号:CN118712222A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410744959.X

    申请日:2024-06-11

    Abstract: 本发明涉及一种具有复合电流阻挡层的增强型超结CAVET器件,属于微电子领域。该器件通过在电流阻挡层内嵌入了InGaN/AlN/InGaN复合电流阻挡层,由靠近源极的InGaN层、AlN层和靠近电流孔径层的InGaN层组成。本发明由于电流阻挡层采用InGaN/AlN/InGaN复合结构,嵌入的InGaN层通过形成次沟道有效提升了器件的输出特性;与此同时,引入的GaN/AlN异质结加速了沟道二维电子气的耗尽,从而抑制了次沟道引起的阈值电压负漂,极大增强了器件的栅控能力。

    一种抑制阈值电压漂移的p-GaN HEMT器件

    公开(公告)号:CN118969824A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411099134.3

    申请日:2024-08-12

    Abstract: 本发明涉及一种抑制阈值电压漂移的p‑GaN HEMT器件,属于半导体技术领域。本发明器件栅极采用肖特基/欧姆混合接触,对位于势垒层上方的p‑GaN层进行凹槽刻蚀,刻蚀出两个凹槽,凹槽使用氮化物进行填充,使得p‑GaN层整体形状为“ш”形,从而分离出三个栅极。其中两边的靠近源漏的栅极采用肖特基接触,形成肖特基势垒,中间的栅极采用欧姆接触,形成高阻区。当器件承受漏极高压偏置应力时,p‑GaN层会产生电荷积累现象,积累的电荷可以通过中间的欧姆栅极高阻区释放出去,减轻电荷积累效应,达到抑制阈值电压漂移的目的,而因为两边栅极肖特基势垒的存在可以在保证抑制阈值电压漂移的同时,保证整体栅控能力。

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