24小时全自动小面售卖机及其操作方法

    公开(公告)号:CN108765754A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810472429.9

    申请日:2018-05-17

    CPC classification number: G07F17/0085

    Abstract: 本发明请求保护一种24小时全自动小面售卖机及其操作方法,包括:主控系统和辅助系统。所述主控系统用于小面自动贩卖,所述辅助控制系统用于自动煮面。所述主控系统通过控制命令传输模块与辅助系统连接通信,包括第一电源管理模块、控制命令传输模块、集成控制模块、主菜单触摸屏、图像采集传输模块、音频采集传输模块及扬声器;所述辅助控制系统用于自动煮面,包括第二电源管理模块、热水供水模块、电磁炉控制模块、入面控制模块、调料盒控制模块、离心旋转模块、面食餐盒推送模块、系统异常保护模块。本发明大大提高了服务效率和质量。

    一种高频硅锗异质结双极晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN111739939B

    公开(公告)日:2024-12-06

    申请号:CN202010642151.2

    申请日:2020-07-06

    Abstract: 本发明涉及一种高频硅锗异质结双极晶体管及其制造方法,属于电子技术领域。在单晶Si衬底上淀积埋氧化层;在基极窗口所对应的集电区的位置进行硼离子注入,并执行快速退火操作以消除晶格损伤;在集电区的一端刻蚀出凹槽形成STI隔离区,淀积填充重掺杂的Si材料;在基区的Ge组分采用阶梯型分布;在单晶Si薄层上淀积N+多晶硅作为发射极;在多晶Si发射极层、单晶Si薄层和基区SiGe薄层的两侧覆盖一层Si3N4应力膜,在发射区和基区同时引入单轴应力;光刻集电极、发射极和基极以外的金属,形成引线。本发明中在发射区和基区同时引入了单轴压应力,提高了载流子的迁移率和器件的频率特性,满足太赫兹频段对核心器件性能的要求。

    一种高频硅锗异质结双极晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:CN111739939A

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN202010642151.2

    申请日:2020-07-06

    Abstract: 本发明涉及一种高频硅锗异质结双极晶体管及其制造方法,属于电子技术领域。在单晶Si衬底上淀积埋氧化层;在基极窗口所对应的集电区的位置进行硼离子注入,并执行快速退火操作以消除晶格损伤;在集电区的一端刻蚀出凹槽形成STI隔离区,淀积填充重掺杂的Si材料;在基区的Ge组分采用阶梯型分布;在单晶Si薄层上淀积N+多晶硅作为发射极;在多晶Si发射极层、单晶Si薄层和基区SiGe薄层的两侧覆盖一层Si3N4应力膜,在发射区和基区同时引入单轴应力;光刻集电极、发射极和基极以外的金属,形成引线。本发明中在发射区和基区同时引入了单轴压应力,提高了载流子的迁移率和器件的频率特性,满足太赫兹频段对核心器件性能的要求。

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