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公开(公告)号:CN110610986B
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN201910954779.3
申请日:2019-10-09
Applicant: 重庆邮电大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/739
Abstract: 本发明涉及一种利用结终端集成横向续流二极管的RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件包括栅极接触区1、发射极接触区2、金属场板3、N型集电极接触区4、P型集电极接触区4’、发射极5、元胞区P型阱6、过渡区P型阱7、第一场限环8、第二场限环9、第三场限环10、N型集电极11、N型缓冲层12、P型集电极13、N型漂移区14、栅氧化层15、场氧化层16。本发明在保证较低关断损耗、反向导通性能及较高的阻断电压的前提下,能够消除在传统器件导通时存在的负阻效应,提高器件的工作稳定性和电流导通能力,同时还能降低制造成本。
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公开(公告)号:CN110610986A
公开(公告)日:2019-12-24
申请号:CN201910954779.3
申请日:2019-10-09
Applicant: 重庆邮电大学
IPC: H01L29/06 , H01L29/739
Abstract: 本发明涉及一种利用结终端集成横向续流二极管的RC-IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件包括栅极接触区1、发射极接触区2、金属场板3、N型集电极接触区4、P型集电极接触区4’、发射极5、元胞区P型阱6、过渡区P型阱7、第一场限环8、第二场限环9、第三场限环10、N型集电极11、N型缓冲层12、P型集电极13、N型漂移区14、栅氧化层15、场氧化层16。本发明在保证较低关断损耗、反向导通性能及较高的阻断电压的前提下,能够消除在传统器件导通时存在的负阻效应,提高器件的工作稳定性和电流导通能力,同时还能降低制造成本。
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公开(公告)号:CN110504307A
公开(公告)日:2019-11-26
申请号:CN201910803499.2
申请日:2019-08-28
Applicant: 重庆邮电大学
IPC: H01L29/739 , H01L21/331 , H01L29/06
Abstract: 本发明涉及一种具有栅控集电极的SA-LIGBT器件,属于电子器件领域。该器件从左至右包括设置的发射极、栅极、N型漂移区、栅控集电极区域。栅控集电极区域从左至右包括N-buffer Ⅰ缓冲层、P-collector、N-buffer Ⅱ缓冲层、P型电子阻挡层P-base和N-collector。P型电子阻挡层P-base和N-collector下方为横向的槽型栅。正向导通时,P型电子阻挡层P-base可以阻挡电子流向N-collector,增加集电极短路电阻。通过调节P型电子阻挡层P-base的长度和浓度,可以调节集电极短路电阻,消除snapback效应。关断时,P型电子阻挡层会在栅控电压下反型成N型,形成电子通道,提高载流子抽取效率从而有效减少器件的关断时间。
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公开(公告)号:CN110504307B
公开(公告)日:2023-03-14
申请号:CN201910803499.2
申请日:2019-08-28
Applicant: 重庆邮电大学
IPC: H01L29/739 , H01L21/331 , H01L29/06
Abstract: 本发明涉及一种具有栅控集电极的SA‑LIGBT器件,属于电子器件领域。该器件从左至右包括设置的发射极、栅极、N型漂移区、栅控集电极区域。栅控集电极区域从左至右包括N‑buffer Ⅰ缓冲层、P‑collector、N‑buffer Ⅱ缓冲层、P型电子阻挡层P‑base和N‑collector。P型电子阻挡层P‑base和N‑collector下方为横向的槽型栅。正向导通时,P型电子阻挡层P‑base可以阻挡电子流向N‑collector,增加集电极短路电阻。通过调节P型电子阻挡层P‑base的长度和浓度,可以调节集电极短路电阻,消除snapback效应。关断时,P型电子阻挡层会在栅控电压下反型成N型,形成电子通道,提高载流子抽取效率从而有效减少器件的关断时间。
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