超低温六分量天平校准复位过程中的位姿检测方法

    公开(公告)号:CN106872139B

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201611270451.2

    申请日:2016-12-31

    Abstract: 一种超低温六分量天平校准复位过程中的位姿检测方法,其包括步骤通过一个施力机构对位于一个低温箱内的一个校准加载头施加标准载荷;控制一个低温箱温度从常温到低温再到超低温的过程中,通过一组高精度激光位移传感器采集位于该低温箱内的一个校准加载头在X方向上的低温变形量,并通过一个复位机构补偿该校准加载头在X方向上的低温变形量;通过一个施力机构对该校准加载头施加标准载荷;通过一组高精度激光位移传感器在该低温箱外采集该校准加载头的位移量;将该校准加载头的位移量传输至一个控制系统中,以使该控制系统根据该校准加载头的位移量获得该校准加载头在该低温箱内的线位移和角位移,以在后续根据该校准加载头的线位移和角位移,通过一个复位机构进行补偿。

    一种大口径光学元件离线精密装校的物料就位系统

    公开(公告)号:CN109212704A

    公开(公告)日:2019-01-15

    申请号:CN201811315191.5

    申请日:2018-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件离线精密装校的物料就位系统,包括自动运输装置、洁净型多自由度机械手和洁净暂存平台,所述自动运输装置包括用于运送物料的AGV小车和设置在接驳区域中的AGV小车导航定位机构。采用以上结构,通过AGV小车导航定位机构,能够耦合AGV小车,实现AGV小车和洁净型多自由度机械手的自动对接,该过程完全没有人员干涉,从而大大减少了粉尘的产生,提高了环境和光学元件表面的洁净度;同时,利用洁净型多自由度机械手能够解决在洁净度为ISO3级环境中大负载物流接驳用洁净助力的问题;利用洁净暂存平台对带有包装盒的光学元件进行暂存、光学元件表面状态确认、装配前的精确定位等工艺环节,稳定可靠,效率高。

    一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法

    公开(公告)号:CN109164554A

    公开(公告)日:2019-01-08

    申请号:CN201811314250.7

    申请日:2018-11-06

    Abstract: 本发明公开了一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法,其中,米量级反射镜自动化柔性装校平台包括底座和可转动地安装在底座上部的转台,转台包括装配面板和顶升板,在装配面板上沿顶升板的周向穿设有能够靠近或远离顶升板的定位销,在顶升板的上表面设置有柔性洁净垫,在装配面板的两侧均设置有锁螺丝组件。采用本发明提供的一种米量级反射镜自动化柔性装校平台及装校方法,不仅解决了米量级反射镜的自动化柔性批量装校的问题,避免了人工干预引入的洁净问题,大大提高了装校效率,还使反射镜各处的预紧力均匀,减小了反射的波前误差,提高反射镜的装校质量和稳定性,同时可以推广应用到其他精密光学元件的装校工艺上。

    一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置

    公开(公告)号:CN107121748A

    公开(公告)日:2017-09-01

    申请号:CN201710367072.3

    申请日:2017-05-23

    CPC classification number: G02B7/00

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置,该装置包括基板、光学元件、盖板、盖板螺钉和微挠性精调模块;光学元件通过其自身的正面与基板内的三个支撑面接触安装,盖板通过盖板螺钉将光学元件固定在底框内部,微挠性精调模块安装在盖板上,微挠性精调模块采用宏动调节和微动调节相结合的方式来进行光学元件面型的调节,采用弹簧作为宏动调节的主要零件实现对光学元件面型的初步调节,采用微挠性结构件作为微动调节的主要零件实现对光学元件面型的精确调节。本发明的微挠性结构件能够将运动输入的调整精度进行放大,使得微挠性结构件的输出调整精度大大提高,宏动调节过程和微动调节过程互不影响,具有较大的工程实用意义。

    一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置

    公开(公告)号:CN107121748B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201710367072.3

    申请日:2017-05-23

    Abstract: 本发明公开了一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置,该装置包括基板、光学元件、盖板、盖板螺钉和微挠性精调模块;光学元件通过其自身的正面与基板内的三个支撑面接触安装,盖板通过盖板螺钉将光学元件固定在底框内部,微挠性精调模块安装在盖板上,微挠性精调模块采用宏动调节和微动调节相结合的方式来进行光学元件面型的调节,采用弹簧作为宏动调节的主要零件实现对光学元件面型的初步调节,采用微挠性结构件作为微动调节的主要零件实现对光学元件面型的精确调节。本发明的微挠性结构件能够将运动输入的调整精度进行放大,使得微挠性结构件的输出调整精度大大提高,宏动调节过程和微动调节过程互不影响,具有较大的工程实用意义。

    小角度测量装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN104482884B

    公开(公告)日:2017-10-03

    申请号:CN201410671101.1

    申请日:2014-11-20

    Abstract: 本发明公开了一种小角度测量装置及其测量方法,包括光电自准直仪,所述光电自准直仪前端设置有测量头,该测量头包括安装平台、竖直地安装在所述安装平台上的第一反射镜和第二反射镜,其中,第一反射镜与光电自准直仪光轴呈45°倾斜设置,其镜面与该光电自准直仪相对,所述第二反射镜镜面与第一反射镜相对,该第二反射镜与光电自准直仪光轴之间的夹角θ为锐角。采用以上技术方案,能够在不改变已有光电自准直仪的情况下,提高其小角度测量的分辨率,并且不会放大光束漂移、气流扰动等因素引起的角度扰动量,测量准确、方便。

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