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公开(公告)号：CN106197950B
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：CN201610569127.4
申请日：2016-07-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种米级尺度多光轴平行检测装置及检测方法，其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接，本发明装置满足多光轴平行性检测需求，采用该检测方法进行多光轴平行性检测，检测区域可达数米见方，检测过程实现自动化。
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公开(公告)号：CN105750272B
公开(公告)日：2018-02-06
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN106197950A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610569127.4
申请日：2016-07-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种米级尺度多光轴平行检测装置及检测方法，其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接，本发明装置满足多光轴平行性检测需求，采用该检测方法进行多光轴平行性检测，检测区域可达数米见方，检测过程实现自动化。
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公开(公告)号：CN103487362A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：CN201310484490.2
申请日：2013-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明提供了一种激光粒子测量探头。所述的激光粒子测量探头通过法兰盘固定在密闭容器或真空容器的坚固外壳上，法兰盘连同法兰盘上的窗口玻璃将密闭容器或真空容器与外部环境隔离，并将主要的光学器件、机械部件、电子学器件隔离在密闭容器或真空容器外，避免污染被测容器内部环境；激光光束经光束整形模块后成为分布均匀、厚度为0.5mm~1mm的线形激光光束。激光光束被悬浮颗粒物质散射，聚光透镜聚拢散射激光至光电转换器件受光表面，光电转换器件将收集到的光信号转变成电信号待用。本发明有效地解决了真空容器和密闭容器内部悬浮颗粒实时监测问题。本发明结构简单，使用方便，可广泛用于固体激光装置光传输通道内部环境的实时监测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105750272A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610245993.8
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
CPC classification number: B08B7/0007 , B08B7/0021 , B08B13/00
Abstract: 本发明提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本发明能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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公开(公告)号：CN103487362B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201310484490.2
申请日：2013-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N15/14
Abstract: 本发明提供了一种激光粒子测量探头。所述的激光粒子测量探头通过法兰盘固定在密闭容器或真空容器的坚固外壳上，法兰盘连同法兰盘上的窗口玻璃将密闭容器或真空容器与外部环境隔离，并将主要的光学器件、机械部件、电子学器件隔离在密闭容器或真空容器外，避免污染被测容器内部环境；激光光束经光束整形模块后成为分布均匀、厚度为0.5mm~1mm的线形激光光束。激光光束被悬浮颗粒物质散射，聚光透镜聚拢散射激光至光电转换器件受光表面，光电转换器件将收集到的光信号转变成电信号待用。本发明有效地解决了真空容器和密闭容器内部悬浮颗粒实时监测问题。本发明结构简单，使用方便，可广泛用于固体激光装置光传输通道内部环境的实时监测。
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公开(公告)号：CN205808675U
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201620759146.9
申请日：2016-07-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型公开了一种米级尺度多光轴平行检测装置，其包括第一校准部、第二校准部、第三校准部、第一平移机构和控制系统，所述第一校准部包括自准直仪一、固定基准和第一支撑平台，所述自准直仪一和固定基准依次安装在所述第一支撑平台上，所述第二校准部和第三校准部安装在所述第一平移机构上，所述第二校准部和第三校准部与控制系统连接。本实用新型装置满足多光轴平行性检测需求，采用该检测装置进行多光轴平行性检测，检测区域可达数米见方，检测过程实现自动化。
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公开(公告)号：CN205091455U
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201520910906.7
申请日：2015-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01S3/789
Abstract: 本实用新型提供一种光源空间指向检测系统，包括光源组件，所述光源组件包括光源2’、镜片6’，光源2’按发射空间角度入射至镜片6’，其特征在于：在光源2’入射方向一侧设置自准直仪3’、绝对测角仪4’，光源2’反射方向一侧设置有大口径标准镜5’，将光源的反射光沿原光路返回。本实用新型巧妙设计了光源空间指向检测系统，使检测精度达到微弧度量级，具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN205868978U
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201620332171.9
申请日：2016-04-20
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本实用新型提供了一种自动化干法清洗装置。所述清洗装置中的高压二氧化碳气体经高压气管顺序通过控压阀、电控阀门、空气过滤器、以及智能喷射探头中的文丘里管喷出，变成固体、液体、气体混合物从而清除工件表面残留颗粒污染物。智能喷射探头兼具监测工件位置状态的功能。五自由度电位移台带动被清洗件完成自动清洗，以及调节被清洗件与文丘里管之间的距离和相对角度。长焦距显微镜的观察范围与文丘里管喷射出的二氧化碳气流在被清洗工件表面的覆盖区域一致，用于实时观察和记录清洗效果。本实用新型能够在保证清洗效率和清洗后工件表面洁净度稳定性的情况下，利用干法清洗方式实现去除半导体器件、光学镜片、金属器件等表面残留的微米、亚微米颗粒的目的。
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