一种双频微波制备颗粒状碳化硅的方法

    公开(公告)号:CN111762785A

    公开(公告)日:2020-10-13

    申请号:CN202010250363.6

    申请日:2020-04-01

    Abstract: 本发明涉及一种双频微波制备颗粒状碳化硅的方法,属于碳化硅制备技术领域。本发明的双频微波制备颗粒状碳化硅的方法,包括以下步骤:(1)碳和正硅酸乙酯经溶胶-凝胶法得到二氧化硅包裹碳的前驱体,前驱体经压制形成坯体;(2)将坯体包埋在石英砂中,利用双频微波同时进行微波烧结,得到颗粒状碳化硅;所述双频微波的两个频率分别为2450MHz和915MHz。该方法利用碳优良的吸波性能,采用双频微波的方式,不仅能够提高加热效率,更容易控制碳化硅生长的形貌,实现了SiC晶体的快速合成,得到结晶良好的碳化硅颗粒,提高了制备效率;且双频微波制得的碳化硅的晶体结晶度好,缺陷少,晶体产量高,颗粒大小均匀,质量更均一。

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