一种振荡加压放电等离子复合烧结装备及烧结方法

    公开(公告)号:CN117415320A

    公开(公告)日:2024-01-19

    申请号:CN202311337404.5

    申请日:2023-10-16

    Abstract: 本发明公开了一种振荡加压放电等离子复合烧结装备及烧结方法,通过设置包括主机结构系统、伺服电机液压系统、振荡加压液压系统、真空及惰性气体气源系统、脉冲等离子电源控制系统和主机控制系统,主机结构采用框架梁预紧,保证系统在振荡加压下的强度以及整机结构的稳定性;装备附加了频率和压力可调的振荡液压系统,在工件烧结过程中,振荡压力可实现颗粒的滑移重排,并有助于气孔的排出,可实现材料的高密度烧结;采用双液压系统的叠加模式,节能环保,避免油温过快升高,切换方便简单,保证系统控压精度。本发明提供了一种能够制备高性能材料的振荡加压放电等离子复合烧结装备及烧结方法,可广泛用于高性能、高附加值材料的烧结制备。

    一种用于金刚石加工的振镜发射激光能量规律性分布的调控方法

    公开(公告)号:CN118123230A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410392247.6

    申请日:2024-04-02

    Abstract: 本发明提出了一种用于金刚石加工的振镜发射激光能量规律性分布的调控方法,涉及激光加工的技术领域,包括以下步骤:设置激光加工参数及加工图形的绘制:设置激光发射器参数,在激光软件加工控制系统中绘制线段,确定激光束与加工平台水平面间的入射角;在线宽测试物上打标:放大线宽测试物上打标线段的线宽粗、细的不同趋势,调控振镜发射激光轨迹,进行打标;能量密度差异性检测:进行线宽宽度测量,根据测量结果,进行能量密度判定;能量规律性分布调控:对绘制线段进行能量均匀性分布调控,根据待加工物预加工的形状特征对绘制线段进行能量规律、非均匀性分布调控;绘制并导入新图形;激光加工金刚石。本发明可以通过调控金刚石表面能量的均匀性排布,达到消除能量误差,提升精度到极高水平,通过调控金刚石表面激光能量的规律、非均匀性分布排布,实现特殊形貌的加工。

    一种六面顶压机活塞与油缸的超高压密封装置

    公开(公告)号:CN111637112B

    公开(公告)日:2023-04-25

    申请号:CN202010534078.7

    申请日:2020-06-12

    Abstract: 本发明公开了一种六面顶压机活塞与油缸的超高压密封装置,包括在活塞与油缸之间套装在活塞外侧的超高压密封组件和防杂质密封组件,所述防杂质密封组件沿油缸轴向设置在超高压密封组件两侧,所述超高压密封组件安装位置的两侧活塞与油缸间隙小于防杂质密封组件安装位置外侧活塞与油缸间隙;所述活塞上位于油缸高压一端的防杂质密封组件和超高压密封组件之间安装有压力平衡组件,所述压力平衡组件一端连通油缸的超高压油腔,压力平衡组件另一端连通至活塞与油缸间隙配合处;本发明通过设置V形密封圈和O形橡胶密封圈,有效的阻挡杂质在液压油推动活塞运动时嵌入到活塞与油缸内孔的间隙中,防止杂质拉伤油缸。

    一种单晶晶圆最优划片方向的确定方法

    公开(公告)号:CN111640687B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202010510585.7

    申请日:2020-06-08

    Abstract: 本发明公开了一种单晶晶圆最优划片方向的确定方法,包括如下步骤:在单晶晶圆样品的表面随机选取正向测试条和反向测试条,然后使用磨料分别沿着单晶晶圆表面上的正向测试条和反向测试条进行划擦试验,且对正向测试条和反向测试条的划擦方向相反,得到沿着两个相反方向划擦后的单晶晶圆样品,通过检测设备对单晶晶圆样品表面的两条划痕的表面形貌进行检测,最后观察两个划痕表面的裂纹形式及影响区的宽度,确定裂纹影响区的宽度相对小的划擦方向为最优的划片方向。本发明能够用于单晶晶圆加工成芯片后将连在一起的芯片分成单个芯片的应用中,能够确定最优加工方向,减少崩边的尺寸,提高加工质量和晶圆的利用率。

    一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN113500535A

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202110683096.6

    申请日:2021-06-21

    Abstract: 本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法,尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成,金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系,该结合剂体系对磨料把持力强,抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力,磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织,并且增加脆性,提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性,获得较好的均质状态,解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。

    基于机器视觉的砂轮修整方法及装置

    公开(公告)号:CN110815048B

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN201911007533.1

    申请日:2019-10-22

    Abstract: 本发明涉及一种基于机器视觉的砂轮修整方法及装置,该砂轮的修整方法通过采集砂轮旋转时多幅原始轮廓图像,将所有原始轮廓图像叠加在一起,找出表示砂轮最外侧的像素边缘点,通过对像素边缘点的分析找出相应的修整量使砂轮工作层的平均出刃高度最大,出刃高度离散度最小;减小出刃高度离散度,使单位时间内同时参与磨削的磨料数量增加,提高平均出刃高度以保证砂轮工作层的容屑空间,使得修整后的砂轮具有更好的磨削效果,可用于精密磨削,有助于提高修整后的砂轮磨削性能的稳定性。

    一种金刚石片裂纹检测方法与装置

    公开(公告)号:CN113203797A

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202110598412.X

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本发明的目的是提供一种金刚石片裂纹检测方法与装置,减少对传统裂纹检测方法对从业人员经验以及专业技术的依赖,提高了工业生产的检测效率及裂纹检测的准确性,根据待检测CVD金刚石片在白噪声激励下的振动响应信号,对其进行时间序列分析建立ARMA模型,时间序列ARMA模型参数中包含有结构系统的固有特性,通过计算机算法可以识别出待检测金刚石片一阶或多阶固有频率,采用时间序列分析方法,识别出待检测金刚石片一阶固有频率,及构造金刚石裂纹程度识别指标,计算待检测金刚石片与无裂纹金刚石片裂纹程度识别指标差异量,进一步判断金刚石片存在裂纹程度。

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