一种混料均匀性评估方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119845829A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202411715145.X

    申请日:2024-11-27

    Abstract: 本发明提出了一种混料均匀性评估方法,用以解决现有混料均匀性的评估方法不能满足不同粒度、不同密度粉末原料混合均匀性的评估需求的技术问题。本发明包括:在待分析粉末的不同位置进行适量的取样;根据原料粉末的粒度和具体特征,对取样的混料表面进行拍照;选取拍照图像中合适标的物,对拍照图像依次进行二值化、标的物标记、Delaunay三角划分、Voronoi图变化和截点统计;根据截点统计结果,确定单个取样位置的混料均匀性;统计所有取样位置的混料均匀性;利用分布检验计算所有取样位置混料均匀性分析结果的置信度,确定判定结果的可信度。与现有技术相比,本发明分析速度快、无需复杂的化学和物理前处理,可实时在线监控,准确性较高。

    一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法

    公开(公告)号:CN113500535A

    公开(公告)日:2021-10-15

    申请号:CN202110683096.6

    申请日:2021-06-21

    Abstract: 本发明公开一种大尺寸碳化硅衬底加工用复合结合剂砂轮及其制备方法,尤其涉及碳化硅半导体材料加工用复合结合剂超硬材料砂轮配方及制备方法。配方主要有以下组成,金刚石磨料25‑45%、预合金粉25‑40%、聚苯硫醚8~20%、氧化锌晶须10~18%、SG磨料8‑22%。本发明制备采用聚苯硫醚和锌铜合金粉作为复合结合剂体系,该结合剂体系对磨料把持力强,抵抗大尺寸碳化硅的高磨削阻力,磨削力强。铁铝等细化了合金体系的晶粒组织,并且增加脆性,提高砂轮磨削锋利性。同时晶须等的利用可以增加砂轮层微观组织的各项同性,获得较好的均质状态,解决碳化硅衬底磨削稳定性问题。彻底解决了大尺寸碳化硅衬底加工难题。

    一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用

    公开(公告)号:CN111331525B

    公开(公告)日:2021-03-23

    申请号:CN202010289956.3

    申请日:2020-04-14

    Abstract: 本发明提供了一种碳化硅晶体减薄用复合结合剂砂轮、制备方法及应用,由以下重量百分比的原料制成:金刚石磨料15‑45%、预合金粉15‑60%、聚四氟乙烯20‑45%、氧化铈3‑15%、润湿剂0.5‑6%。本发明中所用合金体系为Ga‑Cu‑Sn,在合金体系中加入镓低熔点元素,合金粉成型温度低,解决了树脂金属结合剂异相成型的难题。镓金属的加入,发生共晶反应生成高富镓高脆性相β、δ,实现了传统合金体系由硬韧向高脆性的转变,提高结合剂体系自锐性。复合结合剂兼具二者优势,金属结合剂形成骨架提高强度和硬度,树脂粉的存在增加了磨具的弹性,降低磨削过程中的抗冲击性,提升碳化硅片的表面质量。

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