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公开(公告)号：CN103879949A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201310105428.8
申请日：2013-03-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具多重电极的微机电装置及其制作方法。微机电装置包含基板、第一电极、第二电极以及第三电极。该第一电极设置于该基板上，且该第二电极设置于该基板上。该第二电极包含感测部及固定部。该第三电极设置该基板上。当该第二电极的该感测部形变时，该固定部与该第三电极间具有预设固定距离。
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公开(公告)号：CN106707415A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201510940019.9
申请日：2015-12-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
CPC classification number: G02B26/001 , G02B6/29359 , G02B6/29395 , G02B26/0841
Abstract: 本发明公开一种可调式光学装置，包括基板、至少一支持构件、可挠性框架、弹性元件、第一反射元件以及至少一致动元件。支持构件固定于基板上。可挠性框架连接支持构件，且悬空于基板。弹性元件连接可挠性框架。弹性元件在Z轴方向上的刚性小于可挠性框架在Z轴方向上的刚性。Z轴方向垂直通过基板。第一反射元件连接弹性元件。致动元件位于可挠性框架与基板之间或第一反射元件与基板之间。
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公开(公告)号：CN103879949B
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201310105428.8
申请日：2013-03-28
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种具多重电极的微机电装置及其制作方法。微机电装置包含基板、第一电极、第二电极以及第三电极。该第一电极设置于该基板上，且该第二电极设置于该基板上。该第二电极包含感测部及固定部。该第三电极设置该基板上。当该第二电极的该感测部形变时，该固定部与该第三电极间具有预设固定距离。
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公开(公告)号：CN106707415B
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201510940019.9
申请日：2015-12-16
Applicant: 财团法人工业技术研究院
Abstract: 本发明公开一种可调式光学装置，包括基板、至少一支持构件、可挠性框架、弹性元件、第一反射元件以及至少一致动元件。支持构件固定于基板上。可挠性框架连接支持构件，且悬空于基板。弹性元件连接可挠性框架。弹性元件在Z轴方向上的刚性小于可挠性框架在Z轴方向上的刚性。Z轴方向垂直通过基板。第一反射元件连接弹性元件。致动元件位于可挠性框架与基板之间或第一反射元件与基板之间。
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