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公开(公告)号：CN105274530A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510594064.3
申请日：2015-09-17
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: C23F1/28
Abstract: 一种适合多层膜电路制作的镍光刻腐蚀液配方及腐蚀方法，配方包括氢氟酸、硝酸和去离子水；各组成部分的体积比如下：氢氟酸：硝酸：去离子水＝(0.8-1.2)：(2.5-3.5)：2。利用本发明配方腐蚀的多层膜电路镍层在40×显微镜下观察，线条侧壁光滑、陡直，无金属膜层内缩，无锯齿状凸起或内凹；腐蚀前后对比膜层附着力无明显变化，无膜层起翘、脱落等现象；经上百次腐蚀验证，线条质量良好，腐蚀过程容易控制，腐蚀工艺性较为稳定。
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公开(公告)号：CN104911595A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510350393.3
申请日：2015-06-23
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种TiW膜层腐蚀液及腐蚀方法，针对传统双氧水对TiW膜层腐蚀过程中的缺陷，对腐蚀液组份和配比进行了创新设计，在双氧水中增加了催化剂-氨水和稳定剂-磷酸，同时通过大量试验对三者的比例进行了优化设计，同时对腐蚀工艺条件进行了优化，显著提升了腐蚀液的稳定性、腐蚀速度和腐蚀能力，保障了高质量的腐蚀效果；大量试验表明采用本发明腐蚀液及腐蚀方法，腐蚀成功率达到100％，腐蚀液使用寿命延长3倍以上，方便了生产操作，保证了腐蚀质量。
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公开(公告)号：CN109543239B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN201811270751.X
申请日：2018-10-29
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于神经网络技术的LTCC收缩率预判方法，通过正交试验，确定收缩率的各影响因素；将各影响因素作为结构参数，对每层LTCC建立影响因素列表；设置神经网络，根据生产线历史数据，训练神经网络，获得收缩率预测模型；利用收缩率预测模型预测LTCC产品的收缩率。本发明针对不同LTCC产品在投产前无法精确获知其收缩率的问题，从LTCC产品设计和工艺出发，确认了影响收缩率的因素，并使用神经网络技术建立了影响因素和收缩率之间的数学模型，实现了LTCC产品收缩率的精确预估。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109543239A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811270751.X
申请日：2018-10-29
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于神经网络技术的LTCC收缩率预判方法，通过正交试验，确定收缩率的各影响因素；将各影响因素作为结构参数，对每层LTCC建立影响因素列表；设置神经网络，根据生产线历史数据，训练神经网络，获得收缩率预测模型；利用收缩率预测模型预测LTCC产品的收缩率。本发明针对不同LTCC产品在投产前无法精确获知其收缩率的问题，从LTCC产品设计和工艺出发，确认了影响收缩率的因素，并使用神经网络技术建立了影响因素和收缩率之间的数学模型，实现了LTCC产品收缩率的精确预估。
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公开(公告)号：CN105274530B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：CN201510594064.3
申请日：2015-09-17
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: C23F1/28
Abstract: 一种适合多层膜电路制作的镍光刻腐蚀液配方及腐蚀方法，配方包括氢氟酸、硝酸和去离子水；各组成部分的体积比如下：氢氟酸：硝酸：去离子水＝(0.8‑1.2)：(2.5‑3.5)：2。利用本发明配方腐蚀的多层膜电路镍层在40×显微镜下观察，线条侧壁光滑、陡直，无金属膜层内缩，无锯齿状凸起或内凹；腐蚀前后对比膜层附着力无明显变化，无膜层起翘、脱落等现象；经上百次腐蚀验证，线条质量良好，腐蚀过程容易控制，腐蚀工艺性较为稳定。
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公开(公告)号：CN110610850B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201910872879.1
申请日：2019-09-16
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种玻璃基板激光制孔后的清洗方法，首先通过将激光制孔后的玻璃基板使用研磨剂进行研磨，去除孔周边粘附的固体残渣；再通过将玻璃基板浸入分析纯的丙酮溶液中进行超声清洗去除有机物；之后通过将玻璃基板浸入分析纯的乙醇溶液中进行超声清洗以完成清洗和脱水；随后向上提拉玻璃基板，待玻璃基板脱水干燥后，使用氧气进行等离子清洗去除微小颗粒；最终将玻璃基板在氩气氛围中进行等离子清洗，从而去除玻璃表面的氧化后的各种颗粒并激活表面，保证玻璃基板上表面沉积金属膜层的可靠性。本发明结合了物理清洗、湿法清洗和等离子清洗的特点，保证了清洗的有效性并有利于玻璃基板上溅射金属膜层的附着力。
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公开(公告)号：CN110610850A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910872879.1
申请日：2019-09-16
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
IPC: H01L21/02
Abstract: 一种玻璃基板激光制孔后的清洗方法，首先通过将激光制孔后的玻璃基板使用研磨剂进行研磨，去除孔周边粘附的固体残渣；再通过将玻璃基板浸入分析纯的丙酮溶液中进行超声清洗去除有机物；之后通过将玻璃基板浸入分析纯的乙醇溶液中进行超声清洗以完成清洗和脱水；随后向上提拉玻璃基板，待玻璃基板脱水干燥后，使用氧气进行等离子清洗去除微小颗粒；最终将玻璃基板在氩气氛围中进行等离子清洗，从而去除玻璃表面的氧化后的各种颗粒并激活表面，保证玻璃基板上表面沉积金属膜层的可靠性。本发明结合了物理清洗、湿法清洗和等离子清洗的特点，保证了清洗的有效性并有利于玻璃基板上溅射金属膜层的附着力。
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公开(公告)号：CN104911595B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510350393.3
申请日：2015-06-23
Applicant: 西安空间无线电技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种TiW膜层腐蚀方法，针对传统双氧水对TiW膜层腐蚀过程中的缺陷，对腐蚀液组份和配比进行了创新设计，在双氧水中增加了催化剂‑氨水和稳定剂‑磷酸，同时通过大量试验对三者的比例进行了优化设计，同时对腐蚀工艺条件进行了优化，显著提升了腐蚀液的稳定性、腐蚀速度和腐蚀能力，保障了高质量的腐蚀效果；大量试验表明采用本发明腐蚀液及腐蚀方法，腐蚀成功率达到100％，腐蚀液使用寿命延长3倍以上，方便了生产操作，保证了腐蚀质量。
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