一种适用于半导体工艺的斜面光刻胶掩膜的制备方法

    公开(公告)号:CN119644668A

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202411916516.0

    申请日:2024-12-24

    Abstract: 本发明涉及一种适用于半导体工艺的斜面光刻胶掩膜的制备方法,包括以下步骤:S1:形成第一层光刻胶;S2:对第一层光刻胶依次进行第一次前烘、第一斜面图形化处理和第一次后烘,得到斜面图形化的第一层光刻胶;S3:在斜面图形化的第一层光刻胶上涂布第二层光刻胶;S4:对第二层光刻胶依次进行第二次前烘、第二斜面图形化处理和第二次后烘,第一层光刻胶和第二层光刻胶融合,形成具有预设角度的斜面光刻胶掩膜。由于第一次后烘能够使第一层光刻胶具有更好的耐显性,使得第一层光刻胶和第二层光刻胶具有不同的显影选择比,从而实现更大的斜面光刻胶的斜面角度范围,进而提高介质层的侧壁倾斜角度调整范围,满足倾斜侧壁结构的角度要求。

    一种基于方向包围盒的自动驾驶碰撞检测方法

    公开(公告)号:CN115027464A

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN202210904044.1

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种基于方向包围盒的自动驾驶碰撞检测方法,涉及自动驾驶技术领域,首先,从车辆感知系统中实时获取相对可靠的障碍物包围盒(OBB)数据;其次,从车辆轨迹规划模块,获取已经规划好的候选轨迹并离散,对每个离散点,创建车辆OBB包围盒;再次,初步计算车辆中心与障碍物中心的距离,明确二者是否绝对安全(不会发生碰撞);最后,对有碰撞可能的障碍物与车辆做分离轴测试,判断是否发生碰撞,并根据二者的最短距离,计算碰撞风险,为无人驾驶系统做下一步的决策,本发明通过对动态障碍物与静态障碍物碰撞分析,提高了自动驾驶车辆与周围环境的适应性、安全性与准确性。

    一种智能无线遥控挪车设备

    公开(公告)号:CN114162095A

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN202111507688.9

    申请日:2021-12-10

    Abstract: 本发明公开了一种智能无线遥控挪车设备,涉及电动汽车技术领域,包括AGV小车、遥控器、承托机构以及平衡机构,所述AGV小车借助于其内置的无线模块与遥控器无线连接,使用者借助于遥控器能够实现对AGV小车的控制,所述承托机构安装于AGV小车的顶板上并能够与AGV小车配合以实现汽车的抬升,所述平衡机构安装于承托机构内的底板上,平衡机构借助于同步机构与承托机构连接,以实现能够与承托机构同步展开和收起,本发明通过将特制的承托机构与现有的AGV小车进行结合,配合手持式遥控器,能够快速实现汽车的抬升以及挪车处理,且承托机构整体结构简单,其主体结构仅有四个承托板组成,成本低,有利于本产品的普及。

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