公开(公告)号：CN118588625A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410762770.3

申请日：2024-06-13

Applicant: 西安微电子技术研究所

Inventor： 陈炜东 ,  张军 ,  张瑶 ,  史海林 ,  方琦 ,  闫旭 ,  韩可 ,  史凤

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/603

Abstract: 本发明公开了一种自动键合夹具及其使用方法，属于集成电路自动化生产技术领域。包括固定连接在键合机的可升降工作台上的磁吸板和随键合机导轨运动的传输板；所述磁吸板上固定有加热板，所述加热板上设置有若干个真空吸附平台；所述加热板上方设置有固定连接在键合机导轨平台的压板架，所述压板架上连接有压板；所述传输板上设置有用于固定待加工电路的凹槽；所述键合机导轨设置在加热板和压板之间；当所述传输板携带待加工电路运动至加热板和压板之间时，所述键合机的可升降工作台升起，将所述待加工电路固定在加热板和压板之间，进行键合操作。换线时，仅需将磁吸固定的加热板和压板换成适配新的待加工电路的加热板和压板即可完成换线操作。