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公开(公告)号:CN112911827A
公开(公告)日:2021-06-04
申请号:CN202110072397.5
申请日:2021-01-19
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种旋转式真空汽相清洗的混合集成电路固定结构,在框体上固定排列若干个横梁,电路外壳呈凵状,便于混合集成电路在电路外壳内的放置,将电路外壳底部两侧搭放在相邻横梁的梁壁上,电路外壳的内部暴露在外侧设置,便于对电路外壳内的真空汽相清洗,通过压块固定连接在横梁上,压块的两端分别压在电路外壳的顶部两侧上,提高了电路外壳在横梁上的稳定性,有效的避免的了真空汽相清洗过程中的电路固定问题,保证了真空汽相清洗中旋转时对混合集成电路的稳定性。
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公开(公告)号:CN112911827B
公开(公告)日:2022-03-22
申请号:CN202110072397.5
申请日:2021-01-19
Applicant: 西安微电子技术研究所
Abstract: 本发明提供了一种旋转式真空汽相清洗的混合集成电路固定结构,在框体上固定排列若干个横梁,电路外壳呈凵状,便于混合集成电路在电路外壳内的放置,将电路外壳底部两侧搭放在相邻横梁的梁壁上,电路外壳的内部暴露在外侧设置,便于对电路外壳内的真空汽相清洗,通过压块固定连接在横梁上,压块的两端分别压在电路外壳的顶部两侧上,提高了电路外壳在横梁上的稳定性,有效的避免的了真空汽相清洗过程中的电路固定问题,保证了真空汽相清洗中旋转时对混合集成电路的稳定性。
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