公开(公告)号：CN119839768A

公开(公告)日：2025-04-18

申请号：CN202510319951.3

申请日：2025-03-18

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 余家欣 ,  郑庆杰 ,  欧李苇 ,  赖建平 ,  叶嘉豪 ,  彭继源 ,  陈贵铃 ,  向超 ,  邹锦鹏

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/04 ,  C25F3/30 ,  B24B1/00

Abstract: 本发明属于半导体制造技术领域，具体涉及一种光催化与电化学辅助的金刚石CMP抛光装置，其抛光头可转动地设置在抛光台的上方，抛光台的台阶槽内盛有抛光液，台阶槽的上台阶面上设置有负电极和抛光垫，台阶槽的下台阶面上设置有紫外光源，抛光头底部的若干待抛光金刚石晶片可与抛光垫摩擦接触，金刚石晶片所在的圆形轨迹的一部分位于紫外光源的正上方。该装置核心在于负电极、掺硼金刚石正电极与抛光液构成电解回路，实现高效电化学辅助抛光。紫外光源采用浸没式设计，直接辐照抛光液与晶片，显著提高紫外光作用效果。该装置具有羟基自由基生成效率高、化学反应持续稳定、反应可控性强等优势，有效解决了金刚石抛光效率低、一致性差的技术难题。

公开(公告)号：CN118372197B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202410843550.3

申请日：2024-06-27

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 余家欣 ,  包琢钰 ,  欧李苇 ,  朱波 ,  叶嘉豪 ,  张玲 ,  赖建平

IPC: B25B11/00

Abstract: 本发明公开了一种用于微小球体表面缺陷和轮廓检测的夹具和装置，夹具包括底座、滑台、齿条滑板、齿轮、载玻片底板、弹簧挡板和载玻片，滑台滑动设置于高倍检测区内，齿条滑板滑动设置于滑台上，齿轮转动安装在滑台上，齿轮与齿条滑板配合带动齿条滑板滑动，载玻片底板设置在齿轮的上方，高倍检测区内设置有第一检测定位板，第一检测定位板的一侧设有若干检测卡槽，弹簧挡板设置在滑台的一侧，弹簧挡板与滑台之间设有夹紧弹簧，较低倍检测区内设置有检测定位孔，载玻片用于放置待检测的微小球体，且载玻片可沿底座的左右方向滑动。本发明的检测装置能够实现不同尺寸微小球体的全球面表面缺陷检测和轮廓的多角度检测，结构简单、检测效率高。

公开(公告)号：CN119863505A

公开(公告)日：2025-04-22

申请号：CN202510320566.0

申请日：2025-03-18

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 余家欣 ,  何涛 ,  欧李苇 ,  张玲 ,  郑贤汶 ,  何不为 ,  张严

IPC: G06T7/62 ,  G06T7/13 ,  G06N3/0464 ,  G06N3/08 ,  G06N3/006

Abstract: 本发明公开了一种基于混合几何特征的精密微球直径检测方法，属于精密微球直径检测领域，包括图像处理、直径计算、转换单位和多次测量取均值的步骤；在图像处理步骤中，包括显微镜采集图像，灰度处理，采用最大类间方差法进行图像分割，形态学处理等步骤；在直径计算步骤中，分别采用最小二乘法圆拟合、最小外接矩形法、最大内切圆法计算圆直径。本发明使用三种不同的方法计算精密微球的直径，消除了图像采集过程中边缘像素不清晰导致的误差，本发明所述方法无需对图像进行旋转、移动矫正，可实现自动跟踪图像采集位置进行自适应直径计算。本发明的精密微球直径检测方法能实现不同尺寸精密微球的直径检测，其检测精度高、检测效率高。

公开(公告)号：CN119294200A

公开(公告)日：2025-01-10

申请号：CN202411498461.6

申请日：2024-10-25

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 何洪途 ,  龚建旭 ,  段辉晶 ,  李国成 ,  何林 ,  余家欣 ,  欧李苇 ,  彭灿

IPC: G06F30/23 ,  G16C60/00 ,  G06F111/04 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种摩擦诱导含能材料点火的热‑力‑化耦合模拟计算方法，包括：S1、建立含能材料的三维有限元模型，并对建立后的三维有限元模型进行网格划分；S2、在有限元分析软件中嵌入含能材料摩擦诱导化学热分解反应的模型代码；S3、在嵌入模型代码的有限元分析软件中，对网格划分后的三维有限元模型进行热‑力‑化耦合模拟；S4、对耦合模拟的计算结果进行可视化后处理以得到对应的模型温度场。本发明提供一种摩擦诱导含能材料点火的“热‑力‑化”耦合模拟计算方法，能够研究摩擦诱导含能材料点火的临界条件；实现在摩擦过程中对含能材料的“热‑力‑化”耦合多方面物理化学全过程监测，可以模拟研究不同含能材料摩擦诱导点火的问题。

公开(公告)号：CN118372197A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202410843550.3

申请日：2024-06-27

Applicant: 西南科技大学

Inventor： 余家欣 ,  包琢钰 ,  欧李苇 ,  朱波 ,  叶嘉豪 ,  张玲 ,  赖建平

IPC: B25B11/00

Abstract: 本发明公开了一种用于微小球体表面缺陷和轮廓检测的夹具和装置，夹具包括底座、滑台、齿条滑板、齿轮、载玻片底板、弹簧挡板和载玻片，滑台滑动设置于高倍检测区内，齿条滑板滑动设置于滑台上，齿轮转动安装在滑台上，齿轮与齿条滑板配合带动齿条滑板滑动，载玻片底板设置在齿轮的上方，高倍检测区内设置有第一检测定位板，第一检测定位板的一侧设有若干检测卡槽，弹簧挡板设置在滑台的一侧，弹簧挡板与滑台之间设有夹紧弹簧，较低倍检测区内设置有检测定位孔，载玻片用于放置待检测的微小球体，且载玻片可沿底座的左右方向滑动。本发明的检测装置能够实现不同尺寸微小球体的全球面表面缺陷检测和轮廓的多角度检测，结构简单、检测效率高。