公开(公告)号：CN105716632A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201510975305.9

申请日：2015-12-23

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： F.约斯特 ,  H.维奇尼希 ,  J.齐默

IPC: G01D5/12

CPC classification number: G01D5/16 ,  G01D3/08 ,  G01R33/0052 ,  G01R33/09 ,  G01D5/12

Abstract: 本发明涉及传感器电路、传感器装置以及用于形成传感器电路的方法。传感器电路包含多个半桥传感器电路。传感器电路包含被配置为确定传感器输出值的传感器输出值确定电路。传感器电路进一步包含被配置为基于第一半桥传感器信号和第二半桥传感器信号来产生误差信号的误差确定电路。传感器电路进一步包含控制电路，所述控制电路被配置为控制第一半桥传感器电路和第二半桥传感器电路之一的选择用于将第一半桥传感器信号和第二半桥传感器信号之一提供给所述传感器输出值确定电路以确定传感器输出值。

公开(公告)号：CN110927067B

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106153548A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106153548B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN105759714B

公开(公告)日：2019-01-08

申请号：CN201610007155.7

申请日：2016-01-07

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： F.约斯特

IPC: G05B19/08

Abstract: 本发明涉及带有切换矩阵开关的传感器。一种传感器包括包含配置成矩阵配置的许多切换元件的矩阵开关。所述传感器包括配置成传感器矩阵配置的一个或多个传感器元件。控制器操作以经由所述切换元件动态地选择一个或多个信号路由以对来自所述传感器矩阵的一个或多个传感器元件的数据进行通信。所述矩阵开关能够基于一组准则操作以将在所述传感器的传感器元件之间的多个信号路由动态地路由到另一个部件。

公开(公告)号：CN105716632B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN201510975305.9

申请日：2015-12-23

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： F.约斯特 ,  H.维奇尼希 ,  J.齐默

IPC: G01D5/12

Abstract: 本发明涉及传感器电路、传感器装置以及用于形成传感器电路的方法。传感器电路包含多个半桥传感器电路。传感器电路包含被配置为确定传感器输出值的传感器输出值确定电路。传感器电路进一步包含被配置为基于第一半桥传感器信号和第二半桥传感器信号来产生误差信号的误差确定电路。传感器电路进一步包含控制电路，所述控制电路被配置为控制第一半桥传感器电路和第二半桥传感器电路之一的选择用于将第一半桥传感器信号和第二半桥传感器信号之一提供给所述传感器输出值确定电路以确定传感器输出值。

公开(公告)号：CN110927067A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN105759714A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201610007155.7

申请日：2016-01-07

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： F.约斯特

IPC: G05B19/08

CPC classification number: G01D21/00 ,  G05B19/08

Abstract: 本发明涉及带有切换矩阵开关的传感器。一种传感器包括包含配置成矩阵配置的许多切换元件的矩阵开关。所述传感器包括配置成传感器矩阵配置的一个或多个传感器元件。控制器操作以经由所述切换元件动态地选择一个或多个信号路由以对来自所述传感器矩阵的一个或多个传感器元件的数据进行通信。所述矩阵开关能够基于一组准则操作以将在所述传感器的传感器元件之间的多个信号路由动态地路由到另一个部件。

公开(公告)号：CN203414187U

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201320341988.9

申请日：2013-06-14

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司

Inventor： F.约斯特

IPC: G01K7/01 ,  G01R19/00

CPC classification number: H01L23/34 ,  G01R19/0092 ,  H01L23/647 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本实用新型涉及用于测量集成电路器件中的温度和电流的系统。实施例涉及半导体器件中的温度和电流的测量。特别地，实施例涉及单片半导体和传感器器件，其中所述半导体诸如功率半导体之类，所述传感器诸如电流或温度传感器。在实施例中，温度和/或电流感测特征被单片集成在半导体器件内。与在实际半导体器件附近或沿着实际半导体器件提供温度和电流感测但是不被集成在实际半导体器件内的常规解决方案相比，这些实施例从而可提供温度和电流的直接测量。例如，在一个实施例中，附加的层结构在后端处理中应用于功率半导体叠层。该单片集成保证了温度和/或电流的局部测量，即胜过常规的并列配置的优点。