公开(公告)号：CN106153548B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN110927067B

公开(公告)日：2024-12-20

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN106153548A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：CN201610174975.5

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。

公开(公告)号：CN110927067A

公开(公告)日：2020-03-27

申请号：CN201911295917.8

申请日：2016-03-25

Applicant: 英飞凌科技股份有限公司 ,  弗劳恩霍弗实用研究促进协会

Inventor： A.德赫 ,  J.胡贝尔 ,  F.约斯特 ,  S.科尔布 ,  H.托伊斯 ,  W.魏德迈尔 ,  J.韦伦施泰因

IPC: G01N21/17

Abstract: 本发明示出了一种气体传感器5，其具有传感器元件10、测量室15和发射体元件20。传感器元件10具有MEMS隔膜25，所述MEMS隔膜25布置在第一衬底区域40中。测量室15还被构造用于容纳测量气体50。