衬底内的电耦合沟槽电容器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116344517A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202211464943.0

    申请日:2022-11-22

    Abstract: 本文中的实施例涉及针对衬底内的电耦合沟槽电容器的系统、装置或过程。所述衬底可以是诸如玻璃中介层之类的中介层的一部分,其中所述沟槽电容器在附接到所述衬底的表面的一个或多个管芯附近递送高电容密度。所述沟槽电容器的部分可以是所述衬底的表面处的薄膜电容器。所述沟槽从所述衬底的第一侧朝向所述衬底的与第一侧相对的第二侧延伸。可以描述和/或要求保护其他实施例。

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