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公开(公告)号:CN116666464A
公开(公告)日:2023-08-29
申请号:CN202310799049.7
申请日:2023-07-03
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本发明公开了一种基于双硅层光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包括:上方硅薄膜、顶部导电电极、金属光栅、钛薄膜、硅基底、底部导电电极;所述钛薄膜、金属光栅、钛薄膜、上方硅薄膜依次设置于所述硅基底上;所述底部导电电极连接于硅基底下方;所述顶部导电电极与所述金属光栅固定连接;所述钛薄膜作为粘附层连接所述硅基底和所述金属光栅以及所述金属光栅和所述上方硅薄膜;本发明采用金属材料作为吸光层,通过基于双硅层进一步地提高了金的光吸收效率、热电子产生率,提高了热电子转移到硅中的收集效率,通过改变金属光栅宽度可调节探测器的响应波长,进而实现窄带的光电探测。
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公开(公告)号:CN119595105A
公开(公告)日:2025-03-11
申请号:CN202411692725.1
申请日:2024-11-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种用于无人机的推扫式高光谱成像系统,其中,线面结合光阑开设有狭缝和矩形窗口,前置镜头对目标场景成像至矩形窗口,经由准直透镜准直以产生平行光,再经过色散棱镜未发生色散,最后通过聚焦透镜到达焦平面探测器,获得高分辨率图像,通过对比相邻帧之间的高分辨率图像,得到位姿变化信息;前置镜头还对目标场景成像至狭缝,经由准直透镜准直以产生平行光,再经过色散棱镜发生色散,最后通过聚焦透镜到达焦平面探测器,获得多光谱图像;利用位姿变化信息对当前帧的多光谱图像进行校准,校准后再进行拼接得到最终的目标场景高光谱图像。本发明结构简单易用,无需额外系统来辅助图像拼接。
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公开(公告)号:CN114927582A
公开(公告)日:2022-08-19
申请号:CN202210698129.9
申请日:2022-06-20
Applicant: 苏州大学 , 苏州矩阵光电有限公司
IPC: H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本发明涉及光电传感技术领域,为解决现有技术中存在的光电探测器响应度不高的问题,公开了一种完全嵌入式光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包含底部导电电极、金属光栅和顶部导电电极;金属光栅和底部导电电极之间有一层钛薄膜作为粘附层;金属光栅连接到顶部导电电极;硅背面设有底部导电电极;通过将金属光栅完全嵌入硅基底的方式进一步地提高了金属的光吸收效率和热电子产生率,其中光吸收率能达到接近100%,减少了热电子的热化损失,进而提升了光电探测器的响应度;调节金属光栅周期可改变探测器的响应波长,实现了波长可调的近红外光电探测器。
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公开(公告)号:CN119756579A
公开(公告)日:2025-04-04
申请号:CN202411832779.3
申请日:2024-12-13
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于光谱成像技术领域,涉及一种基于无人机的多狭缝高光谱成像系统及方法,包括:前置物镜;多狭缝组件,包括多个狭缝,用于利用多个狭缝对前置物镜的输出像面进行采样,得到与狭缝数量相对应的多个采样条带;分光成像组件,其具体包括:准直镜组,用于对多狭缝组件输出的多个采样条带进行准直;色散棱镜组,包括第一阿米西棱镜和第二阿米西棱镜,用于对准直镜组输出的多个采样条带进行色散分光;聚焦镜组,用于对色散棱镜组输出的多个色散分光后的采样条带分别进行聚焦成像,得到多个光谱数据;探测器,用于将多个光谱数据分别与空间信息融合得到多张光谱图像;上位机,用于对多张光谱图像进行融合,得到目标光谱图像。
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公开(公告)号:CN117080276A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202311053596.7
申请日:2023-08-21
Applicant: 苏州大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本发明属于光电传感技术领域,具体涉及一种基于塔姆等离子的平面硅基红外热电子光电探测器。该平面硅基红外热电子光电探测器包括依次设置的硅基底、金薄膜和分布式布拉格反射器;所述分布式布拉格反射器包括依次交替设置于所述金薄膜上的第二薄膜和第一薄膜;其中,直接接触所述金薄膜的第二薄膜为缺陷层,所述缺陷层的材质为二氧化钛。本发明采用金属材料作为吸光层,通过基于分布式布拉格反射器进一步地提高了金的光吸收效率、热电子产生率,以及热电子转移到硅中的收集效率。通过改变分布式布拉格反射器中的缺陷层的厚度可调节探测器的响应波长,进而实现窄带的光电探测。
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公开(公告)号:CN114927583A
公开(公告)日:2022-08-19
申请号:CN202210698140.5
申请日:2022-06-20
Applicant: 苏州大学 , 苏州矩阵光电有限公司
IPC: H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本发明涉及光电传感技术领域,为解决现有技术中存在的光电探测器响应度不高的问题,公开了一种基于超薄硅光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包含底部导电电极、硅超薄膜、金属光栅和顶部导电电极;金属光栅和硅超薄膜之间有一层钛薄膜作为粘附层;金属光栅连接到顶部导电电极;铝作为底部导电电极;通过金属底部导电电极的方式进一步地提高了金属的光吸收效率和热电子产生率,减少了热电子的热化损失,进而提升了光电探测器的响应度;调节金属光栅宽度、周期可改变探测器的响应波长,实现了波长可调的近红外光电探测器。
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公开(公告)号:CN217544629U
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202221545679.9
申请日:2022-06-20
Applicant: 苏州大学 , 苏州矩阵光电有限公司
IPC: H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本实用新型涉及光电传感技术领域,为解决现有技术中存在的光电探测器响应度不高的问题,公开了一种完全嵌入式光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包含底部导电电极、金属光栅和顶部导电电极;金属光栅和底部导电电极之间有一层钛薄膜作为粘附层;金属光栅连接到顶部导电电极;硅背面设有底部导电电极;通过将金属光栅完全嵌入硅基底的方式进一步地提高了金属的光吸收效率和热电子产生率,其中光吸收率能达到接近100%,减少了热电子的热化损失,进而提升了光电探测器的响应度;调节金属光栅周期可改变探测器的响应波长,实现了波长可调的近红外光电探测器。
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公开(公告)号:CN217544630U
公开(公告)日:2022-10-04
申请号:CN202221545775.3
申请日:2022-06-20
Applicant: 苏州大学 , 苏州矩阵光电有限公司
IPC: H01L31/0232 , H01L31/108
Abstract: 本实用新型涉及光电传感技术领域,为解决现有技术中存在的光电探测器响应度不高的问题,公开了一种基于超薄硅光栅结构的窄带近红外热电子光电探测器,包含底部导电电极、硅超薄膜、金属光栅和顶部导电电极;金属光栅和硅超薄膜之间有一层钛薄膜作为粘附层;金属光栅连接到顶部导电电极;铝作为底部导电电极;通过金属底部导电电极的方式进一步地提高了金属的光吸收效率和热电子产生率,减少了热电子的热化损失,进而提升了光电探测器的响应度;调节金属光栅宽度、周期可改变探测器的响应波长,实现了波长可调的近红外光电探测器。
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