公开(公告)号：CN113390501A

公开(公告)日：2021-09-14

申请号：CN202110844593.X

申请日：2021-07-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王可军 ,  归悦承 ,  戚宏梓 ,  王倩 ,  马贤骅 ,  张雷 ,  樊成

IPC: G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种微振动感测模块及微振动检测传感器件，包括振动基底和传感膜，振动基底为轴套，轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个开口结构包括第一分割口和第二分割口。本发明中，第二分割口在感知微小机械力或振动信号的时候，起到类似于杠杆的作用，因此能够将机械量信号集中在第二分割口的尾部(第二敞开端)，使得第二分割口的位置会产生响应的变形，从而导致传感膜在第二分割口的尾部出现明显的来回往复的“呼吸作用”，位于第二分割口尾部位置的传感膜产生电阻变化，实现微弱振动信号的高精度检测。

公开(公告)号：CN215178128U

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202121704304.8

申请日：2021-07-26

Applicant: 苏州大学

Inventor： 戚宏梓 ,  归悦承 ,  王倩 ,  王可军 ,  马贤骅 ,  张雷 ,  樊成

IPC: G01H11/06

Abstract: 本实用新型公开了一种微振动感测模块及微振动检测传感器件，包括振动基底和传感膜，振动基底为轴套，轴套包括位于其轴向不同位置的上轴套段和下轴套段，上轴套段设有沿其周向均布设置的多个开口结构，每个开口结构包括第一分割口和第二分割口。本实用新型中，第二分割口在感知微小机械力或振动信号的时候，起到类似于杠杆的作用，因此能够将机械量信号集中在第二分割口的尾部(第二敞开端)，使得第二分割口的位置会产生响应的变形，从而导致传感膜在第二分割口的尾部出现明显的来回往复的“呼吸作用”，位于第二分割口尾部位置的传感膜产生电阻变化，实现微弱振动信号的高精度检测。