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公开(公告)号：CN116091317A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310052289.0
申请日：2023-02-02
Applicant: 苏州大学
IPC: G06T3/40 , G06N3/08 , G06N3/0464
Abstract: 本发明涉及一种扫描电镜二次电子图像超分辨方法和系统，方法包括获取SEM图像数据集；构建超分辨网络模型，使用SEM图像数据集对超分辨网络模型进行训练，得到训练好的最优模型参数，加载最优模型参数供SEM图像进行超分辨率处理，获得超分辨率处理后的SEM图像；超分辨网络模型包括浅层特征提取单元、深层特征提取单元、上采样单元和图像重建单元，首先使用浅层特征提取单元对输入的SEM图像进行浅层特征提取，然后经过深层特征提取单元提取深层特征，最后通过上采样单元和图像重建单元对SEM图像进行放大和重建。本发明能够使得图像更加清晰的同时提高分辨率，尤其是样品边缘与内部的细节特征明显增多，图像质量有较为明显的提升。
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