公开(公告)号：CN209087884U

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201822171481.9

申请日：2018-12-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 徐玉亭 ,  吴绍龙 ,  刘鉴辉 ,  刘慧敏 ,  俞童 ,  习雪 ,  眭博闻 ,  王紫薇

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/0224

Abstract: 本实用新型属于光电探测和传感技术领域，为解决现有技术中基于金属吸收的光探测器光吸收不高和吸收波段调制困难的问题，提出一种用于制作红外探测器的复合结构，利用金属微纳米孔阵列层/半导体薄膜/金属薄膜复合结构构筑基于金属吸收的热电子红外探测器；通过激发顶层金属微纳米孔阵列的局域等离子共振、底层金属薄膜的表面等离激元，以及将两者耦合起来形成的杂化型等离子共振来极大增加金属对入射光的吸收，并将上下两层金属吸收光产生的热载流子均注入到中间半导体层，从而得到可观的光响应度；通过调控顶层微纳米孔的周期和直径、中间半导体层的厚度和折射率可以实现从近红外到中红外的可调光谱吸收。