公开(公告)号：CN101069088A

公开(公告)日：2007-11-07

申请号：CN200580041177.5

申请日：2005-11-30

Applicant: 芝浦机械电子株式会社 ,  东芝陶瓷株式会社

Inventor： 林义典 ,  西风馆广幸 ,  京屋诚 ,  泉妻宏治 ,  长滨弘美 ,  M·清水 ,  浜谷和彦

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9506 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8841

Abstract: 本发明的表面检查装置，用于检查板状物体(100)的外周边部所形成的多个面(101a、101b、101c)，包括：对板状物体形成有多个面的外周边部进行摄影的摄影装置(30)；及对通过摄影装置得到的图像进行处理的图像处理装置；摄影装置包括：光学系统(11、12、13)，将板状物体的多个面的像引导到同一方向；及单一的摄像机单元(20)，具有摄像面(20d)并配置成使由光学系统引导到同一方向的多个面的像在摄像面上成像。

公开(公告)号：CN101069088B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580041177.5

申请日：2005-11-30

Applicant: 芝浦机械电子株式会社 ,  科发伦材料株式会社

Inventor： 林义典 ,  西风馆广幸 ,  京屋诚 ,  泉妻宏治 ,  长滨弘美 ,  M·清水 ,  浜谷和彦

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/9506 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/9503 ,  G01N2021/8841

Abstract: 本发明的表面检查装置，用于检查板状物体(100)的外周边部所形成的多个面(101a、101b、101c)，包括：对板状物体形成有多个面的外周边部进行摄影的摄影装置(30)；及对通过摄影装置得到的图像进行处理的图像处理装置；摄影装置包括：光学系统(11、12、13)，将板状物体的多个面的像引导到同一方向；及单一的摄像机单元(20)，具有摄像面(20d)并配置成使由光学系统引导到同一方向的多个面的像在摄像面上成像。