-
公开(公告)号：CN101675494A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
-
公开(公告)号：CN113169004A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980080219.8
申请日：2019-11-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J27/02 , H01J37/317 , H01J37/08
Abstract: 一种用于离子源的电极系统，其具有在离子源腔室中限定源孔径的源电极，并且耦接至源电源。第一接地电极限定第一接地孔径，该第一接地孔径电性耦接至电接地电位且从离子源提取离子。抑制电极定位于第一接地电极的下游并且限定电性耦接至抑制电源的抑制孔径。第二接地电极定位于抑制电极的下游并且限定第二接地孔径。第一接地电极和第二接地电极固定地彼此耦接并且电性耦接至电接地电位。
-
公开(公告)号：CN101675494B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200880014181.6
申请日：2008-04-03
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
Inventor： 迈克尔·葛雷夫 , 约翰·叶 , 波·凡德尔贝格 , 迈克尔·克里斯托弗罗 , 黄永章
IPC: H01J37/244 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J2237/24405 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24542 , H01J2237/24578 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明的一个实施例涉及一种用于确定离子束轮廓的设备。所述设备包括：具有测量区的电流测量装置，其中，所述离子束的横截面区域进入所述测量区。所述设备还包括控制器，被配置为周期性地对所述离子束进行束电流测量，并通过将所述束电流测量与所述电流测量装置内的子区相关来确定所述离子束的二维轮廓。本发明还公开了其它设备和方法。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.016 seconds)
