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公开(公告)号：CN113169004A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980080219.8
申请日：2019-11-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J27/02 , H01J37/317 , H01J37/08
Abstract: 一种用于离子源的电极系统，其具有在离子源腔室中限定源孔径的源电极，并且耦接至源电源。第一接地电极限定第一接地孔径，该第一接地孔径电性耦接至电接地电位且从离子源提取离子。抑制电极定位于第一接地电极的下游并且限定电性耦接至抑制电源的抑制孔径。第二接地电极定位于抑制电极的下游并且限定第二接地孔径。第一接地电极和第二接地电极固定地彼此耦接并且电性耦接至电接地电位。
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