具有改良噪声屏蔽的图像传感器

    公开(公告)号:CN102403328A

    公开(公告)日:2012-04-04

    申请号:CN201110286464.X

    申请日:2011-09-07

    Abstract: 本发明涉及具有改良噪声屏蔽的图像传感器。本发明公开一种图像传感器,其包含接合至载体晶片且包含用于摄取图像数据的像素阵列的器件晶片。信号线安置成邻近于该载体晶片的与该器件晶片相对的一侧,且金属噪声屏蔽层置于该像素阵列之下且在该器件晶片或该载体晶片的至少一个内以屏蔽该像素阵列使其免受自信号线发出的噪声。穿硅通孔(“TSV”)延伸穿过该载体晶片及该金属噪声屏蔽层且延伸至该器件晶片中以便耦合至该器件晶片内的电路。可通过高度掺杂该载体晶片和/或用低K介电材料覆盖该载体晶片的底侧来提供进一步的噪声屏蔽。

    具有改良噪声屏蔽的图像传感器

    公开(公告)号:CN102403328B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201110286464.X

    申请日:2011-09-07

    Abstract: 本发明涉及具有改良噪声屏蔽的图像传感器。本发明公开一种图像传感器,其包含接合至载体晶片且包含用于摄取图像数据的像素阵列的器件晶片。信号线安置成邻近于该载体晶片的与该器件晶片相对的一侧,且金属噪声屏蔽层置于该像素阵列之下且在该器件晶片或该载体晶片的至少一个内以屏蔽该像素阵列使其免受自信号线发出的噪声。穿硅通孔(“TSV”)延伸穿过该载体晶片及该金属噪声屏蔽层且延伸至该器件晶片中以便耦合至该器件晶片内的电路。可通过高度掺杂该载体晶片和/或用低K介电材料覆盖该载体晶片的底侧来提供进一步的噪声屏蔽。

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