用于形成包含二维材料结构的半导体装置结构的方法

    公开(公告)号:CN109690732A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201780052426.3

    申请日:2017-08-08

    Abstract: 本发明揭示一种形成半导体装置结构的方法,所述方法包括在衬底上方形成至少一个2D材料。使用至少一个激光束来处理所述至少一个2D材料,以选择性地从所述至少一个2D材料激发且移除所述结晶缺陷,所述至少一个激光束具有对应于所述至少一个2D材料内的结晶缺陷的共振频率的电磁辐射的频率。还揭示形成半导体装置结构的额外方法,及相关的半导体装置结构、半导体装置,及电子系统。

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