电阻式随机存取存储器结构及其形成方法

    公开(公告)号:CN108630808A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201710320421.6

    申请日:2017-05-09

    Abstract: 本发明提供一种电阻式随机存取存储器结构及其形成方法。此电阻式随机存取存储器结构包括:层间介电层,形成于基板上,其中层间介电层为包括氧的介电材料;氧扩散阻障层,形成于层间介电层上;底电极层,形成于氧扩散阻障层上。底电极层包括:第一电极层,形成于氧扩散阻障层上;第一富氧层,形成于第一电极层上;以及第二电极层,形成于第一富氧层上。此电阻式随机存取存储器结构亦包括:电阻转态层,形成于底电极层上;以及顶电极层,形成于电阻转态层上。本发明的氧扩散阻障层能够阻挡从层间介电层扩散进入第一电极层的氧,从而可改善电阻不均与转换不均的问题,进而提升产品的良率及信赖性。

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