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公开(公告)号：CN105693482B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201510915419.4
申请日：2015-12-10
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
Abstract: 本发明大体上涉及有机化合物的分离领域，并且更具体地说涉及醇化合物的分离。基于本领域仍然需要一种用于分离沸点实质上类似的醇化合物的有效程序的现状，本发明提供一种使用选择性酰化来分离仲醇化合物与伯醇化合物的方法。
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公开(公告)号：CN105693482A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201510915419.4
申请日：2015-12-10
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
Abstract: 本发明大体上涉及有机化合物的分离领域，并且更具体地说涉及醇化合物的分离。基于本领域仍然需要一种用于分离沸点实质上类似的醇化合物的有效程序的现状，本发明提供一种使用选择性酰化来分离仲醇化合物与伯醇化合物的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117945957A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410120700.8
申请日：2017-08-25
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: C07C309/12 , C08F220/28 , C08F220/18 , G03F7/004 , C07D303/40 , C07D519/00 , C07D333/76 , C07C381/12 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D327/08 , C07D317/34 , C07D317/72 , C07D409/12 , G03F7/027
Abstract: 光酸生成化合物和相关聚合物，光致抗蚀剂组合物，和形成光致抗蚀剂浮雕图像的方法。提供了一种光酸生成化合物，其具有以下结构#imgabs0#
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公开(公告)号：CN106933030A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201611196014.0
申请日：2016-12-21
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C255/24 , C07C255/31 , C07C255/34 , C07C321/28 , C07C381/12 , C07C2102/08 , C07C2103/74 , C07C2602/08 , C07C2603/74 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/0397 , G03F7/091 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/40 , G03F7/004 , G03F7/09
Abstract: 一种光致抗蚀剂组合物，其包括酸敏性聚合物和具有式(I)的光酸产生剂化合物：其中，EWG、Y、R和M+与说明书中所描述相同。
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公开(公告)号：CN118963059A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202411032633.0
申请日：2016-12-21
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: G03F7/00 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/09 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/32 , G03F7/38 , G03F7/40 , H01L21/027 , C07C25/18 , C07C255/24 , C07C255/31 , C07C255/34 , C07C321/28 , C07C381/12 , G03F1/76
Abstract: 本申请涉及光致抗蚀剂组合物、包括光致抗蚀剂组合物的经涂布衬底和形成电子装置的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包括酸敏性聚合物和具有式(I)的光酸产生剂化合物：#imgabs0#其中，EWG、Y、R和M+与说明书中所描述相同。
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公开(公告)号：CN107793335A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201710744796.5
申请日：2017-08-25
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: C07C309/12 , C07D303/40 , C07D519/00 , C07D333/76 , C07C381/12 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D327/08 , C07D317/34 , C07D317/72 , C07D409/12 , G03F7/004 , G03F7/027 , C08F220/28 , C08F220/18
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C69/753 , C07C303/32 , C07C309/00 , C07C309/12 , C07C381/12 , C07C2102/42 , C07C2103/74 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D303/40 , C07D317/34 , C07D317/72 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D409/12 , C07D493/18 , C08F232/08 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/30 , G03F7/38 , C07D519/00 , C08F220/28 , C08F2220/282 , G03F7/004 , G03F7/027 , C08F220/18 , C08F2220/281
Abstract: 一种光酸生成化合物，其具有以下结构其中R1、R2、R3、R4、Q和X如本文所定义。所述光酸生成化合物可以用作光致抗蚀剂组合物的组分，或用作并入到可用于光致抗蚀剂组合物中的聚合物中的单体。所述光酸生成化合物提供所需的溶解度和线宽粗糙度的平衡。
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公开(公告)号：CN106928109A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201611192232.7
申请日：2016-12-21
Applicant: 罗门哈斯电子材料有限责任公司
IPC: C07C381/12 , C07C253/30 , C07C255/31 , C07C255/34 , C07C25/18 , C07C17/35 , G03F7/004
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C25/18 , C07C255/24 , C07C255/31 , C07C255/34 , C07C381/12 , C07C2102/08 , C07C2103/74 , C07C2602/08 , C07C2603/74 , G03F7/038 , G03F7/091 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/40 , G03F7/004
Abstract: 一种具有式(I)的光酸产生剂化合物：其中，EWG、Y、R和M+与说明书中所描述相同。
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