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公开(公告)号：CN102169955A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110003497.9
申请日：2011-01-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: G01R33/07 , G01R33/075 , H01L43/065 , H01L43/14
Abstract: 一种用于测量磁场的传感器元件（42，42’），具有晶片结构（12），该晶片结构（12）具有半导体衬底（13）、绝缘层（14，14’）和半导体层（15，15’）。传感器元件具有穿过绝缘层（14，14’）穿通接触的凸模（16，16’），该凸模带有半导体衬底端面（17）、半导体层端面（18）和在半导体衬底（13）中的成对的平行的侧面（19；19’），其中所述端面（17，18）和侧面（19；19’）具有带有高导电性的区段（28，29，30），并且所述凸模（16，16’）在内部（27）中具有带低导电性的掺杂。
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公开(公告)号：CN108449950B
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN106852140B
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201580057449.4
申请日：2015-09-18
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种具有多个基板的微电子构件系统以及一种相应的制造方法。具有多个基板的微电子构件系统包括构造为具有第一集成度的电路基板的第一基板（C1）、构造为具有第二集成度的电路基板的第二基板（C2）和第三基板（C3），该第三基板构造为MEMS‑传感器基板并且压接到第二基板（C2）上。第二和第三基板压接到第一基板（C1）上。第一集成度大幅度地大于第二集成度。
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公开(公告)号：CN106461395A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580032495.9
申请日：2015-05-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及用于转动速率传感器的微机械的传感器构件，其带有：第一、第二、第三和第四激振质量（12a至12d），该激振质量围绕中间空间能够调节地布置在所述保持部（10）处；所述第一激振质量（12a）和所述第二激振质量（12b）至少沿着第一振动轴线（14）能够调节并且所述第三激振质量（12c）和第四激振质量（12d）至少沿着第二振动轴线（16）能够调节，其中，第一跷动结构（26a）经过第一跷动-耦合元件（28a）与第一激振质量（12a）并且经过第二跷动-耦合元件（28b）与第二激振质量（12b）相连，并且相邻于所述第三激振质量（12c）的外侧（30a）如此地布置在所述保持部（10）处，使得所述第一跷动结构（26a）关于所述保持部（10）能够进入围绕预先给定的第一转动轴线（32a）的第一跷动运动中。
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公开(公告)号：CN108449950A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067979.1
申请日：2016-11-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明涉及微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有带旋转振荡轴承（157）的旋转振荡器（140）。所述旋转振荡器（157）包括：摇臂（152）；摇动弹簧棒（154），所述摇动弹簧棒使摇臂（152）与转速传感器（100）的衬底弹性地连接；和两个支承弹簧棒（153），所述支承弹簧棒在摇动弹簧棒（154）的相反侧上使摇臂（152）与旋转振荡器（140）弹性地连接。从另一视角，提供了用于制造这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102169955B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201110003497.9
申请日：2011-01-10
Applicant: 罗伯特.博世有限公司
CPC classification number: G01R33/07 , G01R33/075 , H01L43/065 , H01L43/14
Abstract: 一种用于测量磁场的传感器元件（42，42’），具有晶片结构（12），该晶片结构（12）具有半导体衬底（13）、绝缘层（14，14’）和半导体层（15，15’）。传感器元件具有穿过绝缘层（14，14’）穿通接触的凸模（16，16’），该凸模带有半导体衬底端面（17）、半导体层端面（18）和在半导体衬底（13）中的成对的平行的侧面（19；19’），其中所述端面（17，18）和侧面（19；19’）具有带有高导电性的区段（28，29，30），并且所述凸模（16，16’）在内部（27）中具有带低导电性的掺杂。
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公开(公告)号：CN102589539A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110432509.X
申请日：2011-12-21
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , B81C1/00
CPC classification number: G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。
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公开(公告)号：CN108449949B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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公开(公告)号：CN106461395B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201580032495.9
申请日：2015-05-07
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5733 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , G01C19/5733
Abstract: 本发明涉及用于转动速率传感器的微机械的传感器构件，其带有：第一、第二、第三和第四激振质量（12a至12d），该激振质量围绕中间空间能够调节地布置在所述保持部（10）处；所述第一激振质量（12a）和所述第二激振质量（12b）至少沿着第一振动轴线（14）能够调节并且所述第三激振质量（12c）和第四激振质量（12d）至少沿着第二振动轴线（16）能够调节，其中，第一跷动结构（26a）经过第一跷动‑耦合元件（28a）与第一激振质量（12a）并且经过第二跷动‑耦合元件（28b）与第二激振质量（12b）相连，并且相邻于所述第三激振质量（12c）的外侧（30a）如此地布置在所述保持部（10）处，使得所述第一跷动结构（26a）关于所述保持部（10）能够进入围绕预先给定的第一转动轴线（32a）的第一跷动运动中。
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公开(公告)号：CN108449949A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201680067919.X
申请日：2016-11-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01C19/5712 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5747 , B81B2201/0242 , G01C19/5712
Abstract: 本发明提供了微机械的转速传感器（100），所述微机械的转速传感器具有：第一科里奥利元件（110）；第一驱动臂（113），所述第一驱动臂沿着第一科里奥利元件（110）布置并且通过第一弹簧（114）耦合到第一科里奥利元件（110）上；以及第一驱动电极载体（136、137），所述驱动电极载体从第一驱动臂（113）朝相对于第一科里奥利元件（120）相反的方向延伸并且承载多个平行于第一驱动臂（113）延伸的第一驱动电极（138、139）。从另一视角，提供了用于运行这样的微机械的转速传感器（100）的方法。
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