公开(公告)号：CN102589539B

公开(公告)日：2017-01-18

申请号：CN201110432509.X

申请日：2011-12-21

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T.奥姆斯 ,  R.舍本 ,  T.林德曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  B.施密特

IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。

公开(公告)号：CN102589539A

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN201110432509.X

申请日：2011-12-21

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： T.奥姆斯 ,  R.舍本 ,  T.林德曼 ,  D.C.梅塞尔 ,  B.施密特

IPC: G01C19/5712 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明涉及一种用于测量旋转率的微型机械传感器。所述微型机械传感器包括：-第一和第二地震质量，其中，第一和第二地震质量借助弹簧元件彼此连接，-用于在第一平面中驱动第一和第二地震质量的第一和第二驱动装置，其中，至少一个驱动装置基本以恒定的间距与至少其中一个地震质量连接，-用于补偿垂直于第一平面地作用到第一和/或第二驱动装置的干扰力的补偿装置。本发明也涉及一种用于测量旋转率的方法，用于制造微型机械传感器的方法，以及微型机械传感器的应用。