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公开(公告)号：CN115116888A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210124305.8
申请日：2022-02-10
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明提供了能够将基板处理液的流入量或消耗量等增加为控制因子以预测基板处理液的温度变化的处理液提供单元及具有其的基板处理装置。所述处理液提供单元包括：处理液存储模块，存储基板处理液；处理液加热模块，加热基板处理液；处理液排出模块，排出基板处理液；处理液供应模块，当基板处理液被排出时，向处理液存储模块供应基板处理液；以及控制模块，基于基板处理液的流入量来预测残留在处理液存储模块的基板处理液的温度。
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公开(公告)号：CN109411389B
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN201810934866.8
申请日：2018-08-16
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 公开涉及一种用于将清洁液供应到基板的装置。清洁液供应单元包括：混合容器，在其内部具有液体混合空间；第一供应构件，其被构造成将第一液体供应到液体混合空间中；第二供应构件，其被构造成将不同于第一液体的第二液体供应到液体混合空间中；以及混合构件，其被构造成将供应到液体混合空间中的第一液体和第二液体进行混合，并且混合构件可包括：循环管线，供在液体混合空间中的液体循环；和压力调节构件，其被构造成向液体提供压力，使得液体混合空间中的液体流入循环管线中，并且被构造成调节压力。
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公开(公告)号：CN106310723A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610486399.8
申请日：2016-06-28
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 公开了一种消泡单元，包括：本体，所述本体在其内部具有使液体流过的内部空间；液体引入管，所述液体通过所述液体引入管供应至所述本体；液体排出管，消除了气泡的所述液体通过所述液体排出管从所述本体排出；气泡排出管，所述气泡通过所述气泡排出管从所述内部空间排出；和位于所述内部空间中的棒状杆，所述棒状杆的长度沿所述本体的纵向延伸，其中，在所述本体的所述内部空间中提供位于所述液体引入管与所述液体排出管之间的渐变横截面部件并且所述渐变横截面部件的横截面沿所述本体的纵向渐变。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN108962785A
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201810472674.X
申请日：2018-05-17
Applicant: 细美事有限公司
CPC classification number: G02F1/133305 , B08B1/001 , B08B3/08 , C11D1/00 , C11D11/0094 , C11D17/041 , H01L21/67017 , H01L21/67051 , H01L21/67248 , C11D17/06
Abstract: 公开了用于制造清洗液的设备和方法。所述方法包括在第一温度下将表面活性剂化学品和纯水混合，以及在第一温度下将表面活性剂化学品和纯水混合之后，将表面活性剂化学品和纯水混合的同时将表面活性剂化学品和纯水冷却到低于第一温度的第二温度。
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公开(公告)号：CN114695174A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202110926197.1
申请日：2021-08-12
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 本发明提供药液供应装置及包括其的基板处理装置。基板处理装置可包括提供对基板执行指定的工序的处理空间的工序腔室及向配置在所述工序腔室内的所述基板上供应药液的药液供应装置。所述药液供应装置可包括储存所述药液的药液储存槽、提供从所述药液储存槽向所述基板上供应所述药液的路径的药液供应线路、对从所述药液储存槽供应的所述药液加热的至少一个加热部件、具有测量进入所述至少一个加热部件的所述药液的温度的第一传感器及测量从所述至少一个加热部件出去的所述药液的温度的第二传感器的感测部件、以及根据由所述第一传感器及所述第二传感器测量的温度的差异控制所述至少一个加热部件的工作的控制部件。
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公开(公告)号：CN106310723B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201610486399.8
申请日：2016-06-28
Applicant: 细美事有限公司
Abstract: 公开了一种消泡单元，包括：本体，所述本体在其内部具有使液体流过的内部空间；液体引入管，所述液体通过所述液体引入管供应至所述本体；液体排出管，消除了气泡的所述液体通过所述液体排出管从所述本体排出；气泡排出管，所述气泡通过所述气泡排出管从所述内部空间排出；和位于所述内部空间中的棒状杆，所述棒状杆的长度沿所述本体的纵向延伸，其中，在所述本体的所述内部空间中提供位于所述液体引入管与所述液体排出管之间的渐变横截面部件并且所述渐变横截面部件的横截面沿所述本体的纵向渐变。
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公开(公告)号：CN109411389A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201810934866.8
申请日：2018-08-16
Applicant: 细美事有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 公开涉及一种用于将清洁液供应到基板的装置。清洁液供应单元包括：混合容器，在其内部具有液体混合空间；第一供应构件，其被构造成将第一液体供应到液体混合空间中；第二供应构件，其被构造成将不同于第一液体的第二液体供应到液体混合空间中；以及混合构件，其被构造成将供应到液体混合空间中的第一液体和第二液体进行混合，并且混合构件可包括：循环管线，供在液体混合空间中的液体循环；和压力调节构件，其被构造成向液体提供压力，使得液体混合空间中的液体流入循环管线中，并且被构造成调节压力。
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