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公开(公告)号：CN105334561B
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201510783816.0
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器、光模块以及电子设备。该波长可变干涉滤波器包括：第一基板；第二基板，以与第一基板相对的方式配置；第一反射膜，配置在第一基板和第二基板之间；第二反射膜，配置在第二基板和第一反射膜之间；以及第一电极，用于除去第一反射膜的带电，在从第二基板侧看第一基板侧时，具有第一反射膜和第二反射膜重合的第一区域以及第一反射膜和第一电极的至少一部分重合的第二区域，第二区域的第一基板和第二基板之间的距离比第一区域的第一基板和第二基板之间的距离大。
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公开(公告)号：CN104516101A
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201410490255.0
申请日：2014-09-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。光学滤波器装置600包括：波长可变干涉滤波器5、收纳波长可变干涉滤波器5的箱体610、将可动基板52固定于箱体610的接合部件7。箱体610具有接合部件7所接合的固定部626，该固定部626具有：与可动基板52的基板表面52A的一部分相对的底座固定面627(第一面)、与底座固定面627的周围的一部分连续并与可动基板52的侧面527相对的侧壁固定面629(第二面)、从底座固定面627的周围的余部向离开可动基板52的方向连续的交叉面628A(第三面)，接合部件7位于基板表面52A与底座固定面627之间以及侧面527与侧壁固定面629之间。
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公开(公告)号：CN103969726A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410042197.5
申请日：2014-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51
Abstract: 本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中，光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部，底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔，光通过孔的外周边缘与保持部相对，可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。
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公开(公告)号：CN102736156A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210106425.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。
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公开(公告)号：CN103969726B
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201410042197.5
申请日：2014-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/51
Abstract: 本发明涉及光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。其中，光学滤波器器件具备光干涉滤波器和壳体。光干涉滤波器具备固定基板、与固定基板接合的可动基板、设置在固定基板上的固定反射膜、设置在可动基板上的可动反射膜。壳体具备底部基板和在与底部基板之间形成内部空间的盖。可动基板在俯视观察中在光干涉区域的外侧具有设置在与固定基板的相反侧的面上的保持部，底部基板具备与光通过区域对应的光通过孔，光通过孔的外周边缘与保持部相对，可动基板的与固定基板相反侧的面与底部基板接合。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102608689B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN105467577A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510628093.7
申请日：2015-09-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。
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公开(公告)号：CN102736156B
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201210106425.1
申请日：2012-04-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器，该波长可变干涉滤波器具备：第一基板；第二基板，与第一基板相对；第一反射膜，设置在第一基板的与第二基板相对的面上；第二反射膜，设置在第二基板的与第一基板相对的面上，第二反射膜隔着反射膜间间隙与第一反射膜相对；以及第一电极，设置在第一基板的与第二基板相对的面上，其中，该第一基板具有：第一反射膜固定面，设置有第一反射膜；以及第一电极面，设置有第一电极，第一电极面与第二基板的距离不同于第一反射膜固定面与第二基板的距离，在第一反射膜固定面和第一电极面的与第二基板的距离大的面上，设置层叠有第一反射膜和第一电极的层叠部。
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公开(公告)号：CN102540311B
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201110406763.2
申请日：2011-12-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置。该可变波长干涉滤波器具备：第一电极，其设在第一基板上；第二电极，其设在具有可动部的第二基板上，并与第一电极对置；第一电极线，其被设置成从第一电极向第一基板的外周边缘延伸出；第二电极线，其被设置成从第二电极向第二基板的外周边缘延伸出；第一对置电极线，其被设置成与第一电极线相对且与第二电极绝缘；以及第一导通部，其导通第一电极线和第一对置电极线，其中，第二电极线和第一对置电极线在从第二基板的厚度方向看的俯视图中，被形成为沿通过以可动部的中心点为中心的假想圆的中心点、并以等角度间隔分割假想圆的方向延伸出。
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公开(公告)号：CN104423000A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410449730.X
申请日：2014-09-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B7/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B7/006 , G02B7/00
Abstract: 本发明提供接合强度强、气密性高的光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体及其制造方法。光学滤波器装置(600)具备：波长可变干涉滤波器；具有第二开口部(631)的盖部(630)；与盖部(630)共同形成容纳空间的基座；覆盖第二开口部(631)并利用低熔点玻璃(634)接合于盖部(630)的第二玻璃部件(632)；以及设置于盖部(630)的金属(633)，在从相对于第二开口部(631)的开口面的法线方向观察盖部(630)的俯视观察中，金属(633)设置于从第二玻璃部件(632)的外周缘向远离第二开口部(631)的一侧隔开规定尺寸、且沿着第二玻璃部件(632)的外周缘的线(L)的外侧。
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