公开(公告)号：CN105467577A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510628093.7

申请日：2015-09-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 斋藤大辅 ,  藤泽里志 ,  松野靖史 ,  广久保望

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。

公开(公告)号：CN105467577B

公开(公告)日：2019-10-25

申请号：CN201510628093.7

申请日：2015-09-28

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 斋藤大辅 ,  藤泽里志 ,  松野靖史 ,  广久保望

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率下降的光学滤波器器件、光学模块以及电子设备。光学滤波器器件(600)具备：波长可变干涉滤波器(5)，具有彼此相对的一对反射膜和作为设有一对反射膜中任一反射膜的基板的固定基板(51)；底座(620)，固定基板(51)固定于底座(620)；以及固定部件(624)，将固定基板(51)的一处固定于底座(620)，其中，固定基板(51)的表面中的除被固定部件(624)固定以外的面与底座(620)隔着间隙(间隙(CL1))而配置。