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公开(公告)号：CN104345366B
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201410378448.7
申请日：2014-08-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01B7/14 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了光学滤波器、光模块、电子设备及光学滤波器的制造方法，该光学滤波器具备：相互对向配置的固定基板(15)及可动基板(16)；设置于固定基板(15)的可动基板(16)侧的第一反射膜(18)；设置于可动基板(16)的固定基板(15)侧且与第一反射膜(18)相对的第二反射膜(19)；重叠设置于第一反射膜(18)且具有透光性及导电性的第一导电膜(26)；重叠设置于第二反射膜(19)且具有透光性及导电性的第二导电膜(27)；与第一保护膜(26)连接的第一端子(29)；与第二保护膜(27)连接的第二端子(32)，其中，第一端子(29)和第二端子(32)被电性地开闭。
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公开(公告)号：CN102608689B
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN104880818A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510090491.8
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B1/14 , G02B1/16
Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；控制部(27)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，在固定反射膜(44)和固定基板(14)之间设置有导电性的导电膜(38)，在导电膜(38)上设置有反射膜端子(41)，在可动反射膜(35)和可动部(13b)之间设置有导电性的导电膜(32)，在导电膜(32)上设置有第三端子(17)。
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公开(公告)号：CN104345366A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410378448.7
申请日：2014-08-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01B7/14 , G01J3/027 , G01J3/0291 , G01J3/10 , G01J3/26 , G01J3/2823 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了光学滤波器、光模块、电子设备及光学滤波器的制造方法，该光学滤波器具备：相互对向配置的固定基板(15)及可动基板(16)；设置于固定基板(15)的可动基板(16)侧的第一反射膜(18)；设置于可动基板(16)的固定基板(15)侧且与第一反射膜(18)相对的第二反射膜(19)；重叠设置于第一反射膜(18)且具有透光性及导电性的第一导电膜(26)；重叠设置于第二反射膜(19)且具有透光性及导电性的第二导电膜(27)；与第一保护膜(26)连接的第一端子(29)；与第二保护膜(27)连接的第二端子(32)，其中，第一端子(29)和第二端子(32)被电性地开闭。
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公开(公告)号：CN115694406A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210877948.X
申请日：2022-07-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件以及振动器件的制造方法，检查方法低成本，且能够在制造中途以及安装后进行泄漏检查。振动器件具有：基座，其包含半导体基板；振动元件；以及盖，其与基座接合，由该盖与基座构成收纳振动元件的腔室，半导体基板配置有集成电路，该集成电路包含：振荡电路，其与振动元件电连接；存储电路，其存储振动元件的输出特性的基准值；以及判定电路，其对振动元件的输出特性的检测值和基准值进行比较，根据比较结果对腔室内的气密状态进行判定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102608689A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210017655.0
申请日：2012-01-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , G01J3/50 , G02B5/284
Abstract: 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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公开(公告)号：CN102346271B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201110203270.9
申请日：2011-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , C22C5/06 , C22C5/08 , G01J1/0488 , G01J3/46 , G02B5/284
Abstract: 本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于，该干涉滤光器的固定反射镜以及可动反射镜的合金膜是含有银(Ag)、钐(Sm)以及铜(Cu)的Ag‑Sm‑Cu合金膜或是含有银(Ag)、铋(Bi)以及铷(Nd)的Ag‑Bi‑Nd合金膜。
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公开(公告)号：CN103217732A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310012209.5
申请日：2013-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/284 , G01J1/0488 , G02B5/0808 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种干涉滤波器、光学模块以及电子设备。上述干涉滤波器包括：隔着间隙相互面对的第一反射膜和第二反射膜。第一反射膜和第二反射膜包括：Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜，其中，按原子数计，Ag-Sm-Cu合金膜含有0.1％以上0.5％以下的Sm，含有0.1％以上0.5％以下的Cu，且Sm以及Cu的合计为1.0％以下，Ag-Bi-Nd合金膜含有0.1％以上3.0％以下的Bi，含有0.1％以上5.0％以下的Nd，上述Ag-Sm-Cu合金膜或Ag-Bi-Nd合金膜的厚度为10nm以上40nm以下。
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公开(公告)号：CN102346270A
公开(公告)日：2012-02-08
申请号：CN201110197699.1
申请日：2011-07-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B5/085 , G01J3/26 , G01J3/51 , G02B5/0808
Abstract: 本发明提供了干涉滤光器、光模块和分析装置。该干涉滤光器的特征在于固定反射镜及可动反射镜是从Ag-Au合金膜、Ag-Cu合金膜、Ag-Au-Cu合金膜、Ag-Si-Cu合金膜、Ag-P-Cu合金膜、Ag-P-In-Cu合金膜、Ag-Te-Cu合金膜、Ag-Ga-Cu合金膜及Ag-In-Sn合金膜中选择的。
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公开(公告)号：CN103913836B
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201410001372.6
申请日：2014-01-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26 , Y10T156/10 , Y10T156/1056
Abstract: 本发明提供一种波长可变干涉滤波器及制造方法、光学模块及电子设备。波长可变干涉滤波器（5）具备：变更固定反射膜（54）及可动反射膜（55）之间的间隙尺寸的静电致动器（56）；与静电致动器（56）连接的固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）；及具备顶面部（531）和侧壁部（532）的第三基板（53），接合侧壁部（532）的端面及第一基板（51），由顶面部（531）、侧壁部（532）以及第一基板（51）围成的空间（D1）被气密密封，在空间（D1）中，配置有第二基板（52）及静电致动器（56），固定引出电极（563）及可动引出电极（564B）设置于第一基板（51），跨空间（D1）的内外而延伸。
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