光学滤波器装置及电子设备

    公开(公告)号:CN103885110A

    公开(公告)日:2014-06-25

    申请号:CN201310700622.0

    申请日:2013-12-18

    Inventor: 小池繁光

    CPC classification number: G02B5/284 G02B5/00 G02B5/28 G02B7/006

    Abstract: 本发明涉及光学滤波器装置以及电子设备。光学滤波器装置的干涉滤波器(5)由配置于滤波器区域F的外侧的一处的固定部件(64)固定于基底基板(610)上。由此,干涉滤波器(5)中固定部件(64)配置的部分(端部)以外的周边端成为浮动状态(自由端),因而即使与基底基板(610)存在热膨胀系数差,也能够抑制干涉滤波器(5)(滤波器区域F)的翘曲。并且,在滤波器区域F的外侧且与固定部件(64)分离的部分上,形成有比固定部件(64)的高度低的衬垫部(65、66、67)。在受到撞击时,这些衬垫部抵接于基底基板(610)而作为止动器起作用,因此即使在受到撞击的情况下,也能够抑制固定部件(64)发生剥离或龟裂。

    光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置

    公开(公告)号:CN104516101A

    公开(公告)日:2015-04-15

    申请号:CN201410490255.0

    申请日:2014-09-23

    CPC classification number: G02B26/001

    Abstract: 本发明提供一种能够兼顾性能下降的抑制和从箱体的脱落的抑制的光学滤波器装置、光学模块、电子设备及MEMS装置。光学滤波器装置600包括:波长可变干涉滤波器5、收纳波长可变干涉滤波器5的箱体610、将可动基板52固定于箱体610的接合部件7。箱体610具有接合部件7所接合的固定部626,该固定部626具有:与可动基板52的基板表面52A的一部分相对的底座固定面627(第一面)、与底座固定面627的周围的一部分连续并与可动基板52的侧面527相对的侧壁固定面629(第二面)、从底座固定面627的周围的余部向离开可动基板52的方向连续的交叉面628A(第三面),接合部件7位于基板表面52A与底座固定面627之间以及侧面527与侧壁固定面629之间。

    光学滤波器装置及电子设备

    公开(公告)号:CN103885110B

    公开(公告)日:2017-12-22

    申请号:CN201310700622.0

    申请日:2013-12-18

    Inventor: 小池繁光

    CPC classification number: G02B5/284 G02B5/00 G02B5/28 G02B7/006

    Abstract: 本发明涉及光学滤波器装置以及电子设备。光学滤波器装置的干涉滤波器(5)由配置于滤波器区域F的外侧的一处的固定部件(64)固定于基底基板(610)上。由此,干涉滤波器(5)中固定部件(64)配置的部分(端部)以外的周边端成为浮动状态(自由端),因而即使与基底基板(610)存在热膨胀系数差,也能够抑制干涉滤波器(5)(滤波器区域F)的翘曲。并且,在滤波器区域F的外侧且与固定部件(64)分离的部分上,形成有比固定部件(64)的高度低的衬垫部(65、66、67)。在受到撞击时,这些衬垫部抵接于基底基板(610)而作为止动器起作用,因此即使在受到撞击的情况下,也能够抑制固定部件(64)发生剥离或龟裂。

    光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体及其制造方法

    公开(公告)号:CN104423000A

    公开(公告)日:2015-03-18

    申请号:CN201410449730.X

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: G02B26/001 G02B7/006 G02B7/00

    Abstract: 本发明提供接合强度强、气密性高的光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体及其制造方法。光学滤波器装置(600)具备:波长可变干涉滤波器;具有第二开口部(631)的盖部(630);与盖部(630)共同形成容纳空间的基座;覆盖第二开口部(631)并利用低熔点玻璃(634)接合于盖部(630)的第二玻璃部件(632);以及设置于盖部(630)的金属(633),在从相对于第二开口部(631)的开口面的法线方向观察盖部(630)的俯视观察中,金属(633)设置于从第二玻璃部件(632)的外周缘向远离第二开口部(631)的一侧隔开规定尺寸、且沿着第二玻璃部件(632)的外周缘的线(L)的外侧。

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