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公开(公告)号：CN109514998B
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN201811080229.5
申请日：2018-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对被连接在上电极上的配线电短路的不良情况进行抑制的液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。液体喷出头具备：压力室；振动板，其构成压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于压力室内的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在振动板的一侧。压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在振动板与压电体层之间且压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在压电体层的另一面上。液体喷出头具备与第二电极连接并且沿着压电体层的面方向而延伸的配线，在配线和振动板之间的区域、且在与第二电极的面方向垂直的朝向上配线与第二电极或压电体层均未重叠的第一区域中，不具有成为与第一电极相同电位的金属层。
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公开(公告)号：CN109514998A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811080229.5
申请日：2018-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种对被连接在上电极上的配线电短路的不良情况进行抑制的液体喷出头、液体喷出装置以及压电器件。液体喷出头具备：压力室；振动板，其构成压力室的壁面；喷嘴，其对被收纳于压力室内的液体进行喷出；以及压电元件，其被配置在振动板的一侧。压电元件具备：压电体层，其被施加电压而变形；第一电极，其被配置在振动板与压电体层之间且压电体层的一面上；以及第二电极，其被配置在压电体层的另一面上。液体喷出头具备与第二电极连接并且沿着压电体层的面方向而延伸的配线，在配线和振动板之间的区域、且在与第二电极的面方向垂直的朝向上配线与第二电极或压电体层均未重叠的第一区域中，不具有成为与第一电极相同电位的金属层。
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公开(公告)号：CN102019755B
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201010287437.X
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/187
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种喷射特性高的液体喷射头及液体喷射装置以及变位特性高的压电元件。液体喷射头，具有与喷射液体的喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)以及压电元件(300)，该压电元件(300)具有：第一电极(60)；至少包括铅、锆及钛且形成在该第一电极上的压电体层；以及形成在压电体层上的第二电极，其中，压电体层，当在膜厚方向上通过二次离子质谱分析法对压电体层进行分析的情况下，表示碳强度的最大值与碳强度的最小值的比的碳强度比(最大值/最小值)大于等于8小于等于28。
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公开(公告)号：CN102019755A
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN201010287437.X
申请日：2010-09-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/187
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/14233 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种喷射特性高的液体喷射头及液体喷射装置以及变位特性高的压电元件。液体喷射头，具有与喷射液体的喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)以及压电元件(300)，该压电元件(300)具有：第一电极(60)；至少包括铅、锆及钛且形成在该第一电极上的压电体层；以及形成在压电体层上的第二电极，其中，压电体层，当在膜厚方向上通过二次离子质谱分析法对压电体层进行分析的情况下，表示碳强度的最大值与碳强度的最小值的比的碳强度比(最大值/最小值)大于等于8小于等于28。
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公开(公告)号：CN101638004A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910161246.6
申请日：2009-07-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供能够防止裂纹、膜剥离等破坏，并提高压电特性的液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)；和使所述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300)，该压电元件(300)具备第一电极(60)、在该第一电极(60)上形成的压电体层(70)、和在该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧形成的第二电极(80)，所述第一电极(60)含有铂及氧化钛，该氧化钛的金红石结构的晶型部分为76.5mol％以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110271287B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910183903.0
申请日：2019-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/187
Abstract: 本发明提供一种压电特性良好的压电元件以及液体喷出头。压电元件具备：第一电极，其被设置在基体的上方；取向控制层，其含有钛，并且被设置在所述第一电极的上方；压电体层，其具有钙钛矿型的结晶结构，并且被设置在所述取向控制层的上方；第二电极，其被设置在所述压电体层的上方，所述取向控制层的厚度在5.0nm以上且22.0nm以下。
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公开(公告)号：CN101954789B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201010231431.0
申请日：2010-07-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供可提高绝缘性并抑制泄漏电流的发生的具有压电元件的液体喷射头及液体喷射装置以及压电元件。本发明的液体喷射头，具备：压力发生室，其与喷嘴开口连通；和压电元件，其具备第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层和在上述压电体层的上述第1电极的相反侧形成的第2电极；其中，上述压电体层具有钙钛矿结构和绝缘性，上述钙钛矿结构的A位和氧位分别具有A位金属和氧原子脱离后的空位，并且在上述空位具有氢原子。
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公开(公告)号：CN101746137A
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200910252945.1
申请日：2009-12-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供压电特性或劣化特性优异的液体喷射头及液体喷射装置以及压电致动器。本发明的液体喷射头具备：与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)、压电元件(300)，压电元件(300)具备第一电极(60)、形成于该第一电极(60)上的具有以通式ABO3表示的钙钛矿结构的压电体层(70)、和形成于该压电体层(70)的与所述第一电极(60)相反一侧的第二电极(80)，设置如下的压电体层(70)，即，在所述压电体层(70)的B位存在有铅，在利用拉曼散射得到的拉曼位移中，A1(3LO)的峰位置为710cm-1～712cm-1。
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公开(公告)号：CN110271287A
公开(公告)日：2019-09-24
申请号：CN201910183903.0
申请日：2019-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14 , H01L41/047 , H01L41/083 , H01L41/187
Abstract: 本发明提供一种压电特性良好的压电元件以及液体喷出头。压电元件具备：第一电极，其被设置在基体的上方；取向控制层，其含有钛，并且被设置在所述第一电极的上方；压电体层，其具有钙钛矿型的结晶结构，并且被设置在所述取向控制层的上方；第二电极，其被设置在所述压电体层的上方，所述取向控制层的厚度在5.0nm以上且22.0nm以下。
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公开(公告)号：CN102225664B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201110096414.5
申请日：2009-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备：与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件，该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成，在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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