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公开(公告)号：CN1822748A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610006788.2
申请日：2006-02-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明的膜图案的形成方法，是在基板上配置功能液，从而形成膜图案的方法，包括：在基板上，形成与膜图案对应的围堰的围堰形成工序(S1)；以围堰为掩模，在围堰之间的底部形成凹凸的凹凸形成工序(S4)；在形成了凹凸的围堰之间，配置功能液的材料配置工序(S5)。提高能够稳定地形成细微而且高性能的膜图案的膜图案的形成方法。
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公开(公告)号：CN104007497A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410055167.8
申请日：2014-02-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G02B5/28 , G02B5/284 , G02B5/285 , G02B27/00
Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备。第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜（35）的厚度尺寸及第一导电膜（37）的厚度尺寸的和，第一驱动电极（36）从固定基板（30）的表面延伸至第一导电膜（37）的外缘部的表面并接触，第二驱动电极（46）的厚度尺寸形成得大于第二反射膜（45）的厚度尺寸及第二导电膜（47）的厚度尺寸的和，第二驱动电极（46）从可动基板（40）的表面延伸至第二导电膜（47）的外缘部的表面并接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104880818A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510090491.8
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001 , G02B1/14 , G02B1/16
Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；控制部(27)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，在固定反射膜(44)和固定基板(14)之间设置有导电性的导电膜(38)，在导电膜(38)上设置有反射膜端子(41)，在可动反射膜(35)和可动部(13b)之间设置有导电性的导电膜(32)，在导电膜(32)上设置有第三端子(17)。
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公开(公告)号：CN104007546A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410055055.2
申请日：2014-02-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/0208 , G01J3/0264 , G01J3/26 , G01J3/42 , G01J3/51
Abstract: 本发明提供了波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块以及电子设备，其具备：与第一反射膜（35）电连接的第一驱动电极（36），与第二反射膜（45）电连接的第二驱动电极（46），第一驱动电极（36）的厚度尺寸形成得大于第一反射膜的厚度尺寸，第二驱动电极的厚度尺寸形成得大于第二反射膜的厚度尺寸，第一驱动电极在与第一反射膜连接的端部，具有厚度尺寸小于第一反射膜的厚度尺寸的第一阶梯部（37），第二驱动电极在与第二反射膜连接的端部具有厚度尺寸小于第二反射膜的厚度尺寸的第二阶梯部（47），第一反射膜从固定基板（30）的表面延伸至第一阶梯部的表面而形成，第二反射膜（45）从可动基板（40）的表面延伸至第二阶梯部的表面而形成。
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公开(公告)号：CN115616695A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202210809899.6
申请日：2022-07-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供干涉滤波器以及干涉滤波器的制造方法。干涉滤波器具备：透光性的第一基板，具有第一内表面和第一外表面，在第一内表面设置有第一反射膜；透光性的第二基板，具有第二内表面和第二外表面，在第二内表面设置有第二反射膜；第一接合部，将第一内表面与第二内表面接合，将第一基板与第二基板间的第一内部空间密封；透光性的第三基板，与第一外表面对置；第二接合部，将第一外表面与第三基板接合，将第一基板与第三基板间的第二内部空间密封；透光性的第四基板，与第二外表面对置；以及第三接合部，将第二外表面与第四基板接合，将第二基板与第四基板间的第三内部空间密封，第一内部空间、第二内部空间及第三内部空间减压至低于大气压。
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公开(公告)号：CN104880817A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510090065.4
申请日：2015-02-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02B26/00
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供了滤光器、光学模块及电子设备，该滤光器具备：固定基板(14)；可动部(13b)，与固定基板(14)对向配置；固定反射膜(44)，设置于固定基板(14)，使光(28)的一部分反射一部分透过；可动反射膜(35)，设置于可动部(13b)，与固定反射膜(44)对向，使光(28)的一部分反射一部分透过；静电致动器(50)，控制固定反射膜(44)和可动反射膜(35)的间隔，固定反射膜(44)被导电膜(38)和保护膜(45)夹着，导电膜(38)和保护膜(45)为相同材质、相同膜厚。并且，可动反射膜(35)被导电膜(32)和保护膜(36)夹着，导电膜(32)和保护膜(36)为相同材质、相同膜厚。
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公开(公告)号：CN101157301A
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200710162424.8
申请日：2007-09-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1646 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种不使结构复杂地有效防止电不合适现象的液滴喷头、液滴喷出装置、液滴喷头的制造方法及液滴喷出装置的制造方法。液滴喷头(100)，具备：空腔衬底(3)，其底壁形成振动片(8)，并形成有用于贮存液滴并使其喷出的喷出室(7)；和电极衬底(4)，其与振动片(8)相隔间隙(18)地对置，形成有用于驱动振动片(8)的分立电极(17)，搭载有与分立电极(17)连接的用于向分立电极(17)施加电压的驱动器IC(15)。在空腔衬底(3)上，贯通地形成用于收容驱动器IC(15)的第1开口(贯通孔24)，在第1开口的壁面上形成了SiO2膜(83)。
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