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公开(公告)号：CN109564422A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780049684.6
申请日：2017-07-26
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 本发明揭示用于通过整合实时数据收集、事件优先化及透过图像分析自动确定匹配状态进行工具状况监测及匹配的系统及方法。可实时接收来自半导体生产工具的数据。可确定参数数据及缺陷属性数据的控制限度影响CLI且可优先化因果关系因素。图像分析技术可比较图像且可用于例如通过识别所述半导体制造工具中的两者或两者以上匹配所处的状态中的一者来判断工具匹配。
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公开(公告)号：CN109564422B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201780049684.6
申请日：2017-07-26
Applicant: 科磊股份有限公司
IPC: G05B19/418 , G05B23/02
Abstract: 本发明揭示用于通过整合实时数据收集、事件优先化及透过图像分析自动确定匹配状态进行工具状况监测及匹配的系统及方法。可实时接收来自半导体生产工具的数据。可确定参数数据及缺陷属性数据的控制限度影响CLI且可优先化因果关系因素。图像分析技术可比较图像且可用于例如通过识别所述半导体制造工具中的两者或两者以上匹配所处的状态中的一者来判断工具匹配。
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